本發(fā)明提供一種用于電容結(jié)構(gòu)的測(cè)試裝置的保護(hù)裝置,其中用于電容結(jié)構(gòu)的測(cè)試裝置包括至少兩個(gè)第一焊盤,包括:第二焊盤;以及限流裝置,限流裝置串接于至少兩個(gè)第一焊盤中的一個(gè)和所述第二焊盤之間,其中當(dāng)通過限流裝置的電流大于一電流閾值時(shí)自動(dòng)斷開,并且其中電流閾值至少部分根據(jù)用于電容結(jié)構(gòu)的測(cè)試裝置的漏電流標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格電流而確定。本發(fā)明還提供一種包括以上保護(hù)裝置的電容結(jié)構(gòu)測(cè)試裝置。通過本發(fā)明的技術(shù)方案,當(dāng)測(cè)試失效時(shí),所測(cè)得的漏電流已經(jīng)超過標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格電流后,電流仍會(huì)迅速增大。當(dāng)其增大到限流裝置的預(yù)定閾值時(shí),該限流裝置自動(dòng)斷開,從而待測(cè)電容結(jié)構(gòu)的原始失效現(xiàn)場(chǎng)得以保護(hù),便于在失效分析時(shí)通過連接極板的焊盤找到測(cè)試失效的根本原因。