本發(fā)明公開(kāi)了一種利用EDAX能譜儀測(cè)量輕元素SEC因子數(shù)據(jù)表的方法，本發(fā)明的步驟如下：（1）將某標(biāo)樣的已知某輕元素含量作為標(biāo)準(zhǔn)值，對(duì)某標(biāo)樣劃分不同的測(cè)量區(qū)域，選定在EDAX能譜儀的不同加速電壓，在每種加速電壓下重復(fù)下述操作：在每一測(cè)量區(qū)域中，改變所述EDAX能譜儀的定量分析程序中的SEC因子，找出使測(cè)得的所述某輕元素含量與標(biāo)準(zhǔn)值相同的SEC因子，將找出的SEC因子取算數(shù)平均值，得到所述某輕元素在不同加速電壓下的SEC因子數(shù)據(jù)表；（2）對(duì)所述某標(biāo)樣中的其它輕元素重復(fù)步驟（1），得到某標(biāo)樣中不同輕元素所對(duì)應(yīng)的SEC因子數(shù)據(jù)表。本發(fā)明的有益效果是提高能譜儀對(duì)輕元素定量分析的準(zhǔn)確性，為材質(zhì)鑒別、材料研究、失效分析等工作提供有力的技術(shù)支持。