本發(fā)明涉及MEMS類傳感器-微加速度計的測試方法,具體是一種微加速度計可靠性強(qiáng)化試驗測試方法。能夠了解微加速度計在溫度、振動和濕度綜合應(yīng)力環(huán)境下的失效模式,方便產(chǎn)品研發(fā),改善產(chǎn)品整體性能,步驟如下:1.微加速度計于溫度應(yīng)力下的強(qiáng)化測試步驟;2.微加速度計于溫度、振動綜合應(yīng)力下的強(qiáng)化測試步驟;3.微加速度計于溫度、振動、濕度綜合應(yīng)力下的強(qiáng)化測試步驟。本發(fā)明兼顧溫度、振動和濕度三應(yīng)力對微加速度計內(nèi)部結(jié)構(gòu)的影響。通過對微加速度計逐步施加溫度、振動和濕度三應(yīng)力,了解與微加速度計功能失效前和失效時對應(yīng)的三應(yīng)力情況,以便解決微加速度計的缺陷,提高微加速度計的整體性能、可靠性,利于高可靠性微加速度計新產(chǎn)品開發(fā)。
聲明:
“微加速度計可靠性強(qiáng)化試驗測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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