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電遷移測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)

1091   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:19
本發(fā)明實施例公開了一種電遷移測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)。其中,該方法包括:根據(jù)芯片中的待測試鏈路的仿真模型,確定待測試鏈路的標(biāo)準(zhǔn)電阻;根據(jù)電遷移仿真測試過程中的多組仿真測試數(shù)據(jù)確定待測試鏈路的失效時間計算公式;確定與待測試鏈路對應(yīng)的多組電遷移測試條件;控制電遷移測試系統(tǒng)對與待測試鏈路對應(yīng)的電遷移測試樣品進行電遷移測試,得到與各組電遷移測試條件對應(yīng)的測試樣品失效時間;根據(jù)各組電遷移測試條件中的預(yù)期失效時間與所對應(yīng)的測試樣品失效時間的比對結(jié)果,確定待測試鏈路的電遷移測試結(jié)果。本發(fā)明實施例可以對芯片中的鏈路進行電遷移測試,確定芯片中各鏈路的整個鏈路結(jié)構(gòu)的電遷移實際情況。
聲明:
“電遷移測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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