一種接觸式MEMS開關(guān)壽命測(cè)試的方法和儀器,屬接觸式MEMS開關(guān)器件測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域,該方法利用連續(xù)方波脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)被測(cè)接觸式MEMS開關(guān)的上、下電極,在該開關(guān)正常,即第一、二接觸點(diǎn)間有開關(guān)動(dòng)作時(shí),計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)連續(xù)方波脈沖信號(hào)的脈沖個(gè)數(shù),直至該開關(guān)疲勞失效,即第一、二接觸點(diǎn)間無開關(guān)動(dòng)作時(shí),計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù),顯示器顯示的數(shù)字就是該被測(cè)開關(guān)的壽命指標(biāo),該儀器由方波發(fā)生器10、脈沖幅度轉(zhuǎn)換器20、測(cè)試架30、開關(guān)動(dòng)作監(jiān)視器40、二輸入端與門50、七位十進(jìn)計(jì)數(shù)器及顯示器60、指示器70和電源80組成,有線路抗干擾性能好,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,元器件通用,測(cè)試效率高,每測(cè)試一個(gè)開關(guān),時(shí)間僅為2～3min等優(yōu)點(diǎn),本發(fā)明特別適于用來測(cè)試接觸式MEMS開關(guān)的壽命。