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金屬一氧化鋁一硅結構濕度傳感器及其制備工藝

877   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-19 09:00:36
本發(fā)明是Si—MOS結構Al2O3濕度傳感器,屬 于指示環(huán)境濕度的元器件。它是在低阻Si襯底上通 過Al蒸發(fā)和陽極氧化及熱處理制備一層穩(wěn)定的多 孔α—Al2O3,從而使Al2O3濕度傳感器改善或克服 了長期漂移問題,并能同時測量絕對濕度和相對濕 度。本發(fā)明的濕度傳感器測濕范圍寬、靈敏度高、重 復性和穩(wěn)定性好,可廣泛用于工業(yè)過程控制、環(huán)境濕 度檢測、各種高純氣體水含量分析、氣密封裝電子器 件殘留水分監(jiān)測及電子器件的可靠性和失效機理研 究等。
聲明:
“金屬一氧化鋁一硅結構濕度傳感器及其制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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