本實(shí)用新型涉及PECVD上料區(qū)防撞舟保護(hù)裝置。目前，太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域PECVD上料設(shè)備的上料區(qū)域只有一個(gè)光電傳感器，一旦光電傳感器失效，就無(wú)法檢查到推入設(shè)備中的小車上有無(wú)石墨舟，將會(huì)存在嚴(yán)重的安全隱患。本實(shí)用新型的PECVD上料區(qū)防撞舟保護(hù)裝置，其中：上料設(shè)備通過(guò)導(dǎo)線與繼電器串聯(lián)，繼電器通過(guò)導(dǎo)線分別與Ⅰ號(hào)光電傳感器和Ⅱ號(hào)光電傳感器串聯(lián)，Ⅰ號(hào)光電傳感器與Ⅱ號(hào)光電傳感器通過(guò)導(dǎo)線并聯(lián)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：在上料區(qū)增加一個(gè)光電傳感器，作為雙重保護(hù)。通過(guò)改進(jìn)后，能夠在一個(gè)傳感器失效后，通過(guò)另一個(gè)傳感器檢測(cè)，保護(hù)石墨舟和機(jī)械臂的安全，是設(shè)備運(yùn)行更穩(wěn)定。采用簡(jiǎn)單有效的方法改進(jìn)，節(jié)約成本，又便于維護(hù)保養(yǎng)。