本發(fā)明涉及材料生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種磁控濺射用
鈣鈦礦型鐵酸釤靶材的制備方法;本發(fā)明在球磨過程中粘合劑的使用能有效地減小壓片過程中所得壓片出現(xiàn)開裂的幾率,保證了所得壓片的品質(zhì);再者,本發(fā)明中通過滾動造粒方式進(jìn)行造粒,能有效地增強(qiáng)混合粉體的流動性,便于后續(xù)將混分粉體均勻且充實地填充在磨具中,從而有效地提高了靶材素坯的成型密度;另外,在造粒過程中,將混合粉體至于微波馬弗爐中能對混合粉體進(jìn)行充分的加熱,有效地提高了脫膠的效率及效果,也消除了粘接劑對所制備的靶材質(zhì)量及性能的影響;采用本發(fā)明制備的鈣鈦礦型鐵酸釤靶材不僅致密度十分地優(yōu)異,而且其還具有優(yōu)良的抗彎強(qiáng)度。
聲明:
“磁控濺射用鈣鈦礦型鐵酸釤靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)