本發(fā)明涉及MEMS傳感器,具體是一種MEMS傳感器在應(yīng)用環(huán)境下使用可靠度的確定方法。確定了MEMS傳感器在應(yīng)用環(huán)境下的可靠性指標(biāo),步驟如下:1)、測(cè)定MEMS傳感器能正常工作的溫度、振動(dòng)、沖擊三參數(shù)的極限應(yīng)力;2)、統(tǒng)計(jì)推斷與MEMS傳感器溫度、振動(dòng)、沖擊三參數(shù)極限應(yīng)力對(duì)應(yīng)的分布函數(shù);3)、統(tǒng)計(jì)推斷與具體應(yīng)用環(huán)境溫度、振動(dòng)、沖擊三參數(shù)應(yīng)力變化對(duì)應(yīng)的分布函數(shù);4)、確定具體應(yīng)用環(huán)境中溫度、振動(dòng)、沖擊三參數(shù)應(yīng)力變化分別能引起MEMS傳感器失效的概率;5)、確定具體應(yīng)用環(huán)境中MEMS傳感器的使用可靠度。以MEMS傳感器在具體應(yīng)用環(huán)境中正常工作的總概率P(X)作為MEMS傳感器的可靠性指標(biāo),將MEMS傳感器的可靠性進(jìn)行量化標(biāo)定,表明了MEMS傳感器在應(yīng)用環(huán)境下的使用可靠度。