本發(fā)明公開(kāi)了一種精準(zhǔn)控制金屬下沉的設(shè)備,包括:支撐架、加熱裝置、探針、和電性監(jiān)控量測(cè)控制模塊,所述支撐架設(shè)置在所述加熱裝置上,所述支撐架用于承接晶圓,所述熱板加熱控制單元控制連接于所述熱板,所述探針具有三個(gè)針腳,分別為S端、D端和G端,所述電性監(jiān)控量測(cè)控制模塊控制連接于所述探針,所述S端用于接地,所述電性監(jiān)控量測(cè)控制模塊用于在所述D端輸出固定電壓偏置,所述電性監(jiān)控量測(cè)控制模塊用于在所述G端輸出固定偏壓裝置。本發(fā)明通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控電流,以在線電流的指標(biāo)作為回火終點(diǎn),實(shí)現(xiàn)回火過(guò)程中對(duì)金屬下沉的精準(zhǔn)控制,提升產(chǎn)品的性能,避免發(fā)現(xiàn)電性失效的周期長(zhǎng)。
聲明:
“精準(zhǔn)控制金屬下沉的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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