本實(shí)用新型公開了一種運(yùn)行穩(wěn)定的MOCVD加熱器，所述上基板表面垂直穿設(shè)有多個(gè)連接傳導(dǎo)桿，各個(gè)連接傳導(dǎo)桿底端皆固定在下基板上，頂端皆安裝有傳導(dǎo)支架，所述傳導(dǎo)支架穿過隔熱板、且頂端支撐有加熱部件，所述隔熱板通過多個(gè)緊固組件與上基板和固定板固定在一起。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易，經(jīng)實(shí)際生產(chǎn)檢驗(yàn)相較于傳統(tǒng)的加熱器加熱效率提升了60％；隔熱板通過多個(gè)新型的緊固組件固定在加熱器上，避免了下隔離陶瓷環(huán)和上隔離陶瓷環(huán)意外受到大的預(yù)緊力出現(xiàn)裂痕，進(jìn)一步避免了受熱時(shí)破裂失效，保證了設(shè)備的整體正常運(yùn)行，延長(zhǎng)了各部件的使用壽命，從而實(shí)現(xiàn)了連續(xù)生產(chǎn)，有效提升了晶元產(chǎn)品的良品率；隨著維護(hù)頻率的降低也降低了維護(hù)成本，減少了維護(hù)工作量。