本實用新型涉及離子束拋光機領(lǐng)域，具體涉及具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機。

背景技術(shù)：

所謂離子束拋光，就是把惰性氣體，如氬、氮等放在密閉空間中，用高頻電磁振蕩或放電等方法對陰極電流加熱，使之電離成為正離子，再用5千至10萬伏高電壓對這些正離子加速，使它們具有一定的能量。利用電子透鏡聚焦，將它們聚焦成一細束,形成高能量密度離子流，在計算機的控制下轟擊放在真空室經(jīng)過精磨的工件表面，從其表面把工件物質(zhì)一個原子一個原子地濺射掉。用這種方法實現(xiàn)對工件表面進行深度從100埃到10微米左右的精密加工?，F(xiàn)有的小型離子束拋光機，大都在放電腔的出口端設(shè)置格柵板，格柵板外設(shè)置鎢絲作為陰極，陽極設(shè)置在放電腔內(nèi)，實現(xiàn)透過格柵板的電離，通過格柵板實現(xiàn)離子束的生成。然而，現(xiàn)有技術(shù)中，由于鎢絲無法單獨設(shè)置，都需要在格柵板外設(shè)置安裝塊來固定鎢絲，鎢絲的一端懸空在安裝塊外，在工作過程中，由于鎢絲溫度極高，鎢絲會逐漸處于熔融狀態(tài)，甚至?xí)瞬肯聣嫶羁吭诟駯虐迳希瑫r鎢絲電離過程中會產(chǎn)生大量正離子，這些離子會附著在格柵板、安裝塊表面，時間稍長就會鋪滿格柵板和安裝塊表面，形成導(dǎo)體，并與搭靠在格柵板上的鎢絲構(gòu)成一個完整的回路，導(dǎo)致鎢絲被短路，無法正常電離出陽離子，導(dǎo)致離子束拋光機無法在較長時間內(nèi)保持正常工作，需要間隔工作時間進行清理。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，以解決現(xiàn)有技術(shù)中離子束拋光機無法長時間正常工作的問題，實現(xiàn)提高離子束拋光機的正常工作時長、降低清理頻率的目的。

本實用新型通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)：

具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，包括放電腔、位于放電腔內(nèi)的陽極板、以及設(shè)置在放電腔出口端的若干層格柵板，最外層格柵板上設(shè)置安裝塊，所述安裝塊上設(shè)置鎢絲，所述鎢絲的一端伸出至安裝塊外側(cè)，所述安裝塊的側(cè)面設(shè)置若干方槽，所述方槽的開口方向朝向鎢絲伸出至安裝塊外側(cè)的方向。

針對現(xiàn)有技術(shù)中離子束拋光機無法長時間正常工作的問題，本實用新型提出一種具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，放電腔內(nèi)設(shè)置陽極板，鎢絲作為陰極設(shè)置在安裝塊上，陰極與陽極之間的連接方式不屬于本實用新型的保護范圍，任何現(xiàn)有的電連接方式即可。放電腔的出口端設(shè)置若干層格柵板，便于離子穿過，安裝塊設(shè)置在最外層的格柵板上。本實用新型在安裝塊的側(cè)面設(shè)置若干向內(nèi)凹陷的方槽，并且使得方槽的開口方向朝著鎢絲伸出方向，因此鎢絲電離而成的陽離子附著在格柵板和安裝塊表面后，由于方槽的存在，陽離子非常不便進入凹槽中，非常不便鋪滿整個凹槽的各表面，因此使得成片連通的陽離子在凹槽處被切斷，即使鎢絲的自由端下墜搭靠在格柵板表面，也無法在短時間內(nèi)構(gòu)成對鎢絲的短路現(xiàn)象，因此極大的提高了離子束拋光機的正常工作時長，極大的降低了清理頻率，使得離子束拋光機的使用效率得到了顯著提升。

進一步的，相鄰兩塊格柵板之間固定連接陶瓷球。相較于傳統(tǒng)技術(shù)中僅使用螺栓等進行連接的方式，本實用新型還通過固定的陶瓷球?qū)ο噜弮蓧K格柵板進行連接，極大的提高了格柵板之間的連接穩(wěn)定性，同時還提高了承載與受力性能，因此提高了離子束拋光機的整體強度。

優(yōu)選的，所述格柵板呈圓形，格柵板上的通孔分布在格柵板中心位置。格柵板上的通孔用于讓離子通過，因此將其集中在圓形的格柵板的中心位置，會提高離子束的集中率，提高離子束轟擊拋光的效果。

優(yōu)選的，所述陽極板通過導(dǎo)線電連接至放電腔外部。

優(yōu)選的，所述放電腔上設(shè)置輸氣口。通過輸氣口便于連續(xù)不斷的向放電腔內(nèi)供入惰性氣體，從而配合本實用新型較長的連續(xù)工作時長，進行連續(xù)不間斷的拋光作業(yè)。

優(yōu)選的，所述鎢絲還固定連接在放電腔外壁上。即是還將鎢絲固定資放電腔的外壁上，進一步提高鎢絲的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。

本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下的優(yōu)點和有益效果：

本實用新型具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，由于方槽的存在，陽離子非常不便進入凹槽中，非常不便鋪滿整個凹槽的各表面，因此使得成片連通的陽離子在凹槽處被切斷，即使鎢絲的自由端下墜搭靠在格柵板表面，也無法在短時間內(nèi)構(gòu)成對鎢絲的短路現(xiàn)象，因此極大的提高了離子束拋光機的正常工作時長，極大的降低了清理頻率，使得離子束拋光機的使用效率得到了顯著提升。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型實施例的進一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，并不構(gòu)成對本實用新型實施例的限定。在附圖中：

圖1為本實用新型具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型具體實施例中格柵板的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標(biāo)記及對應(yīng)的零部件名稱：

1-放電腔，2-陽極板，3-格柵板，31-通孔，4-安裝塊，5-鎢絲，6-方槽，7-陶瓷球，8-輸氣口。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，下面結(jié)合實施例和附圖，對本實用新型作進一步的詳細說明，本實用新型的示意性實施方式及其說明僅用于解釋本實用新型，并不作為對本實用新型的限定。

實施例1：

如圖1與圖2所示的具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，包括放電腔1、位于放電腔1內(nèi)的陽極板2、以及設(shè)置在放電腔1出口端的若干層格柵板3，最外層格柵板3上設(shè)置安裝塊4，所述安裝塊4上設(shè)置鎢絲5，所述鎢絲5的一端伸出至安裝塊4外側(cè)，所述安裝塊4的側(cè)面設(shè)置若干方槽6，所述方槽6的開口方向朝向鎢絲5伸出至安裝塊4外側(cè)的方向。相鄰兩塊格柵板3之間固定連接陶瓷球7。所述格柵板3呈圓形，格柵板3上的通孔31分布在格柵板3中心位置。所述陽極板2通過導(dǎo)線電連接至放電腔1外部。所述放電腔1上設(shè)置輸氣口8。所述鎢絲5還固定連接在放電腔1外壁上。本實施例在安裝塊4的側(cè)面設(shè)置若干向內(nèi)凹陷的方槽6，并且使得方槽6的開口方向朝著鎢絲5伸出方向，因此鎢絲5電離而成的陽離子附著在格柵板3和安裝塊4表面后，由于方槽6的存在，陽離子非常不便進入凹槽中，非常不便鋪滿整個凹槽的各表面，因此使得成片連通的陽離子在凹槽處被切斷，即使鎢絲5的自由端下墜搭靠在格柵板3表面，也無法在短時間內(nèi)構(gòu)成對鎢絲5的短路現(xiàn)象，因此極大的提高了離子束拋光機的正常工作時長，極大的降低了清理頻率，使得離子束拋光機的使用效率得到了顯著提升。經(jīng)實驗，本實施例中在連續(xù)工作五小時以內(nèi)都不會出現(xiàn)鎢絲5短路現(xiàn)象，相較于傳統(tǒng)技術(shù)在連續(xù)工作兩小時后就需要進行一次清理的方式，具有顯著提升。

以上所述的具體實施方式，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施方式而已，并不用于限定本實用新型的保護范圍，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。



技術(shù)特征：

1.具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，包括放電腔(1)、位于放電腔(1)內(nèi)的陽極板(2)、以及設(shè)置在放電腔(1)出口端的若干層格柵板(3)，最外層格柵板(3)上設(shè)置安裝塊(4)，所述安裝塊(4)上設(shè)置鎢絲(5)，所述鎢絲(5)的一端伸出至安裝塊(4)外側(cè)，其特征在于，所述安裝塊(4)的側(cè)面設(shè)置若干方槽(6)，所述方槽(6)的開口方向朝向鎢絲(5)伸出至安裝塊(4)外側(cè)的方向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，其特征在于，相鄰兩塊格柵板(3)之間固定連接陶瓷球(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，其特征在于，所述格柵板(3)呈圓形，格柵板(3)上的通孔(31)分布在格柵板(3)中心位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，其特征在于，所述陽極板(2)通過導(dǎo)線電連接至放電腔(1)外部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，其特征在于，所述放電腔(1)上設(shè)置輸氣口(8)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，其特征在于，所述鎢絲(5)還固定連接在放電腔(1)外壁上。

技術(shù)總結(jié)

本實用新型公開了具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，包括放電腔、位于放電腔內(nèi)的陽極板、以及設(shè)置在放電腔出口端的若干層格柵板，最外層格柵板上設(shè)置安裝塊，所述安裝塊上設(shè)置鎢絲，所述鎢絲的一端伸出至安裝塊外側(cè)，所述安裝塊的側(cè)面設(shè)置若干方槽，所述方槽的開口方向朝向鎢絲伸出至安裝塊外側(cè)的方向。本實用新型的目的在于提供具有穩(wěn)定工作狀態(tài)的離子束拋光機，以解決現(xiàn)有技術(shù)中離子束拋光機無法長時間正常工作的問題，實現(xiàn)提高離子束拋光機的正常工作時長、降低清理頻率的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：倪磊;倪晉

受保護的技術(shù)使用者：成都睿坤科技有限公司

文檔號碼：201721170980

技術(shù)研發(fā)日：2017.09.13

技術(shù)公布日：2018.03.27