本發(fā)明涉及一種鋅鎵鋁三元氧化物(中空管狀)旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材及其制備方法。其特點是,原料組成以質(zhì)量百分比計為:氧化鎵含量為0.5-3.5%、
氧化鋁含量為0.5-2.5%、氧化鎢含量為0.002-0.05%,余量為氧化鋅。本發(fā)明以氧化鋅、氧化鎵、氧化鋁及微量氧化鎢粉末為原料,采用干法混合、焙燒、濕法球磨分散處理工藝,使各組分在基體內(nèi)分布均勻,三元氧化物混合粉具有良好分散性和燒結(jié)活性。具有高致密性、高成品率,工藝設(shè)備簡單,成本較低,易于工業(yè)化。靶材具有高密度、低中毒率、可見光(400-700nm)透過率≥90%,近紅外區(qū)(700-1400nm)透過率≥85%,適用于DC-磁控濺射大面積薄膜
光伏電池鍍膜。
聲明:
“鋅鎵鋁三元氧化物旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)