本發(fā)明提供以氧化鋅為主要成分,進(jìn)一步含有鋁、鎵的氧化物燒結(jié)體及其制造方法;采用濺射法等完全不產(chǎn)生異常放電、能夠連續(xù)且長時(shí)間成膜的靶;以及采用它的低電阻且高透射性的高品質(zhì)的透明導(dǎo)電膜;高轉(zhuǎn)換效率的
太陽能電池。其通過氧化物燒結(jié)體等而提供,該氧化物燒結(jié)體含有氧化鋅、鋁、鎵,是實(shí)質(zhì)上由纖鋅礦型氧化鋅相和尖晶石型氧化物相的結(jié)晶相構(gòu)成的氧化物燒結(jié)體,其特征在于,(1)氧化物燒結(jié)體中的鋁和鎵的含量以(AL+GA)/(ZN+AL+GA)原子數(shù)比計(jì)為0.3~6.5原子%,并且,鋁和鎵的含量以AL/(AL+GA)原子數(shù)比計(jì)為30~70原子%;(2)尖晶石型氧化物相中的鋁的含量以AL/(AL+GA)原子數(shù)比計(jì)為10~90原子%。
聲明:
“氧化物燒結(jié)體、其制造方法、透明導(dǎo)電膜、以及采用它所得到的太陽能電池” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)