3陶瓷靶材的制備方法,通用技術(shù)"> 3陶瓷靶材的制備方法,本發(fā)明提供一種基于鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的SrMoO3陶瓷靶材的制備方法,在避免Mo4+陽離子被氧化的前提下,以一種方便、低成本的方法合成燒結(jié)活性較高、尺寸均勻較小的SrMoO3前驅(qū)體顆粒;然后通過單項模壓加冷等靜壓成型;最后,選擇一種低能耗、設(shè)備成本小的SrMoO3陶瓷燒結(jié)方法。制備得到高密度、低電阻率、純鈣鈦礦相的高質(zhì)量SrMoO3陶瓷,可滿足諸多SrMoO3薄膜鍍膜應(yīng)用的需求。">
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