權(quán)利要求書： 1.一種晶粒自動(dòng)分揀機(jī)，其特征在于：包括控制臺(tái)、上層面板和下層面板，所述上層面板包括Tray盤、抓取機(jī)構(gòu)和可拆卸的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述抓取機(jī)構(gòu)包括滑軌和設(shè)置于滑軌上的吸嘴結(jié)構(gòu)，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括并排固定設(shè)置的若干測(cè)站，所述下層面板的結(jié)構(gòu)與上層面板的結(jié)構(gòu)相同，且設(shè)置于上層面板的下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶粒自動(dòng)分揀機(jī)，其特征在于：所述滑軌包括X軸滑軌和Y軸滑軌，并分別對(duì)應(yīng)設(shè)有X軸伺服馬達(dá)和Y軸伺服馬達(dá)，所述吸嘴結(jié)構(gòu)在滑軌上滑動(dòng)連接，通過X軸滑軌和Y軸滑軌之間的相對(duì)滑動(dòng)在平面內(nèi)作定點(diǎn)運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶粒自動(dòng)分揀機(jī)，其特征在于：所述測(cè)站包括吹氣機(jī)構(gòu)和真空調(diào)整機(jī)構(gòu)，還包括推料氣缸和光柵保護(hù)機(jī)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶粒自動(dòng)分揀機(jī)，其特征在于：所述控制臺(tái)包括顯示屏、控制鍵盤、鼠標(biāo)、旋鈕、輪盤、急停按鈕。

說明書： 一種晶粒自動(dòng)分揀機(jī)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及晶粒篩分技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶粒自動(dòng)分揀機(jī)。背景技術(shù)[0002] 隨著科技的進(jìn)步，現(xiàn)今電子產(chǎn)品的種類與款式也越來越多。在電子產(chǎn)品中常用到不同種類的晶粒，這些晶粒都是先從晶圓切割并分揀出來的。然而，在每一塊晶圓上都能切

割出不同品質(zhì)的晶粒。在工業(yè)應(yīng)用上，需要晶圓上不同品質(zhì)的晶粒分揀出來并進(jìn)行檢測(cè)、歸

類。

[0003] 然而，現(xiàn)有設(shè)備只能用來檢測(cè)晶粒是否有裂痕等品質(zhì)問題，不能同時(shí)對(duì)其工作性能進(jìn)行檢測(cè)。此外，檢測(cè)后的瑕疵品通常需要人工分揀，浪費(fèi)人力成本，效率比較低。

實(shí)用新型內(nèi)容

[0004] 本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足和缺陷，提供一種晶粒自動(dòng)分揀機(jī)。[0005] 本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的：[0006] 一種晶粒自動(dòng)分揀機(jī)，包括控制臺(tái)、上層面板和下層面板，所述上層面板包括Tray盤、抓取機(jī)構(gòu)和可拆卸的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述抓取機(jī)構(gòu)包括滑軌和設(shè)置于滑軌上的吸嘴結(jié)構(gòu)，所

述檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括并排固定設(shè)置的若干測(cè)站，所述下層面板的結(jié)構(gòu)與上層面板的結(jié)構(gòu)相同，

且設(shè)置于上層面板的下方。

[0007] 具體的，所述滑軌包括X軸滑軌和Y軸滑軌，并分別對(duì)應(yīng)設(shè)有X軸伺服馬達(dá)和Y軸伺服馬達(dá)，所述吸嘴結(jié)構(gòu)在滑軌上滑動(dòng)連接，通過X軸滑軌和Y軸滑軌之間的相對(duì)滑動(dòng)在平面

內(nèi)作定點(diǎn)運(yùn)動(dòng)。

[0008] 具體的，所述測(cè)站包括吹氣機(jī)構(gòu)和真空調(diào)整機(jī)構(gòu)，還包括推料氣缸和光柵保護(hù)機(jī)構(gòu)。

[0009] 具體的，所述控制臺(tái)包括顯示屏、控制鍵盤、鼠標(biāo)、旋鈕、輪盤、急停按鈕。[0010] 本實(shí)用新型相比現(xiàn)有技術(shù)包括以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果：本實(shí)用新型用于測(cè)試晶粒的DIE和BIN，整合了Tray盤和檢測(cè)機(jī)構(gòu)，并結(jié)合能夠在平面上定點(diǎn)移動(dòng)的抓取機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)晶粒

的自動(dòng)檢測(cè)和分揀動(dòng)作。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，能有效提高晶粒的檢測(cè)準(zhǔn)確率和分揀

效率，節(jié)約生產(chǎn)成本。

附圖說明[0011] 圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。[0012] 圖2為本實(shí)用新型的主視圖。[0013] 圖3為本實(shí)用新型的俯視圖。具體實(shí)施方式[0014] 下面結(jié)合實(shí)施例及附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的描述，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。

[0015] 在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“設(shè)有”、“連接”等，應(yīng)做廣義理解，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理

解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。

[0016] 在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“前”、“后”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便

于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方

位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

[0017] 如附圖所示，一種晶粒自動(dòng)分揀機(jī)，包括控制臺(tái)10、上層面板20和下層面板30，上層面板20包括Tray盤21、抓取機(jī)構(gòu)22和可拆卸的檢測(cè)機(jī)構(gòu)23。其中控制臺(tái)10分別與其他機(jī)

構(gòu)之間電連接，通過控制臺(tái)10操作控制整個(gè)分揀機(jī)運(yùn)作。上層面板20和下層面板30的結(jié)構(gòu)

和功能完全相同，上下雙層的設(shè)計(jì)能夠增加分揀機(jī)單次工作處理量，提高工作效率?？刹鹦?br />
的檢測(cè)機(jī)構(gòu)23互相獨(dú)立工作且可拆卸方便維修，不影響設(shè)備整體的工作效率。

[0018] 控制臺(tái)10包括顯示屏、控制鍵盤、鼠標(biāo)、旋鈕、輪盤、急停按鈕?？刂婆_(tái)10是整個(gè)設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)控制中心，與所控制的各個(gè)部件之間分別連接進(jìn)行指令傳輸。

[0019] Tray盤21泛指為一種工裝，用來承載工件在生產(chǎn)線上運(yùn)轉(zhuǎn)的，又稱為料盤。在本方案中，優(yōu)選為每層矩形陣列排布，自由度較高，行數(shù)和列數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要自由定義。

[0020] 抓取機(jī)構(gòu)22包括滑軌和設(shè)置于滑軌上的吸嘴結(jié)構(gòu)，滑軌包括X軸滑軌221和Y軸滑軌222，并分別對(duì)應(yīng)設(shè)有X軸伺服馬達(dá)和Y軸伺服馬達(dá)。Y軸滑軌222相對(duì)設(shè)備固定后，X軸滑軌

221相對(duì)Y軸滑軌222前后滑動(dòng)連接，同時(shí)吸嘴結(jié)構(gòu)設(shè)置在X軸上左右滑動(dòng)，可以到達(dá)平面內(nèi)

任意一點(diǎn)。

[0021] 吸嘴結(jié)構(gòu)包括可上下移動(dòng)的真空吸嘴、以及帶動(dòng)真空吸嘴的氣缸組成。氣缸的輸出端與真空吸嘴連接，使真空吸嘴能做上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，下落時(shí)吸住晶粒并保持，提起后隨滑

軌運(yùn)動(dòng)到指定位置后放開，完成晶粒的搬運(yùn)工作。

[0022] 檢測(cè)機(jī)構(gòu)23包括并排固定設(shè)置的若干測(cè)站，測(cè)站包括吹氣機(jī)構(gòu)和真空調(diào)整機(jī)構(gòu)，還包括推料氣缸和光柵保護(hù)機(jī)構(gòu)。測(cè)站用于測(cè)試進(jìn)入設(shè)備內(nèi)的晶粒DIE并進(jìn)行識(shí)別篩選，吹

氣機(jī)構(gòu)能根據(jù)識(shí)別指令進(jìn)行吹氣。真空調(diào)整機(jī)構(gòu)也稱為真空電磁閥，調(diào)整真空的流量以及

壓力進(jìn)而控制電磁閥的開啟或關(guān)閉。

[0023] 測(cè)試站之間相互獨(dú)立設(shè)置，可以自行調(diào)配測(cè)站工作狀態(tài)，根據(jù)需要開啟對(duì)應(yīng)的測(cè)站工作。同時(shí)對(duì)產(chǎn)生故障的測(cè)站可以單獨(dú)拆卸進(jìn)行設(shè)備維護(hù)，不影響其他測(cè)站的工作狀態(tài)。

推料氣缸輔助晶粒進(jìn)入設(shè)備內(nèi)。光柵保護(hù)機(jī)構(gòu)控制設(shè)備急停，當(dāng)有人體停留在指定范圍內(nèi)

時(shí)，啟動(dòng)設(shè)備急停動(dòng)作，避免意外發(fā)生。

[0024] 本實(shí)用新型的具體實(shí)施過程如下：[0025] 待檢測(cè)的晶粒進(jìn)入設(shè)備之后先經(jīng)過檢測(cè)機(jī)構(gòu)23，檢測(cè)機(jī)構(gòu)23的測(cè)站工作檢測(cè)晶粒DIE。經(jīng)過DIE檢測(cè)的晶粒進(jìn)入上層面板20或者下層面板30進(jìn)行BIN分級(jí)，抓取機(jī)構(gòu)22將晶粒

吸取并移送至對(duì)應(yīng)BIN別對(duì)應(yīng)的Tray盤21中，待Tray盤21中盛滿后將其取出，再放入空盤即

可。

[0026] 以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)

人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本

實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。