權(quán)利要求書(shū)： 1.一種直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：

一直燃式焚燒爐，該直燃式焚燒爐設(shè)有一進(jìn)氣口及一出氣口；

一吸附轉(zhuǎn)輪，該吸附轉(zhuǎn)輪設(shè)有吸附區(qū)、冷卻區(qū)及脫附區(qū)，該吸附轉(zhuǎn)輪連接有一廢氣進(jìn)氣管路、一凈氣排放管路、一冷卻氣進(jìn)氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進(jìn)氣管路的另一端連接至該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)的一側(cè)，該凈氣排放管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)的另一側(cè)連接，該冷卻氣進(jìn)氣管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)的一側(cè)連接，該冷卻氣輸送管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)的另一側(cè)連接，該熱氣輸送管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)的另一側(cè)連接，該脫附濃縮氣體管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)的一側(cè)連接；

一第一熱交換器，該第一熱交換器設(shè)有第一冷側(cè)管路及第一熱側(cè)管路，該第一熱交換器連接有一第一熱氣回收管路、一第一焚燒熱氣回收管路及一第一脫附濃縮氣體輸送管路，該第一焚燒熱氣回收管路的一端與該第一熱側(cè)管路的一端連接，該第一焚燒熱氣回收管路的另一端與該直燃式焚燒爐的出氣口連接，該第一熱氣回收管路的一端與該第一熱側(cè)管路的另一端連接，該第一熱氣回收管路的另一端與該第二熱側(cè)管路的一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的一端與該第一冷側(cè)管路的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的另一端與該直燃式焚燒爐的進(jìn)氣口連接；

一第二熱交換器，該第二熱交換器設(shè)有第二冷側(cè)管路及第二熱側(cè)管路，該第二冷側(cè)管路的一端與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該第二冷側(cè)管路的另一端與該熱氣輸送管路的另一端連接；

一第三熱交換器，該第三熱交換器設(shè)有第三冷側(cè)管路及第三熱側(cè)管路，該第三熱交換器連接有一第三脫附濃縮氣體輸送管路及一第三熱氣回收管路，該第三冷側(cè)管路的一端與該脫附濃縮氣體管路的另一端連接，該第三脫附濃縮氣體輸送管路的一端與該第三冷側(cè)管路的另一端連接，該第三脫附濃縮氣體輸送管路的另一端與該第一冷側(cè)管路的一端連接，該第三熱氣回收管路的一端與該第三熱側(cè)管路的一端連接，該第三熱氣回收管路的另一端與該第二熱側(cè)管路的另一端連接；

一冷卻器，該冷卻器內(nèi)設(shè)有冷卻水管路，該冷卻器連接有一冷卻熱氣回收管路，該冷卻熱氣回收管路的另一端與該第三熱側(cè)管路的另一端連接；以及一除塵設(shè)備，該除塵設(shè)備連接有一除塵進(jìn)氣管路及一除塵出氣管路，該除塵進(jìn)氣管路的一端與該除塵設(shè)備連接，該除塵進(jìn)氣管路的另一端與該冷卻器連接，該除塵出氣管路的一端與該除塵設(shè)備連接，該除塵出氣管路的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路連接。

2.一種直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：

一直燃式焚燒爐，該直燃式焚燒爐設(shè)有一進(jìn)氣口及一出氣口；

一吸附轉(zhuǎn)輪，該吸附轉(zhuǎn)輪設(shè)有吸附區(qū)、冷卻區(qū)及脫附區(qū)，該吸附轉(zhuǎn)輪連接有一廢氣進(jìn)氣管路、一凈氣排放管路、一冷卻氣進(jìn)氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進(jìn)氣管路的另一端連接至該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)的一側(cè)，該凈氣排放管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)的另一側(cè)連接，該冷卻氣進(jìn)氣管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)的一側(cè)連接，該冷卻氣輸送管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)的另一側(cè)連接，該熱氣輸送管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)的另一側(cè)連接，該脫附濃縮氣體管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)的一側(cè)連接；

一第一熱交換器，該第一熱交換器設(shè)有第一冷側(cè)管路及第一熱側(cè)管路，該第一熱交換器連接有一第一熱氣回收管路、一第一焚燒熱氣回收管路及一第一脫附濃縮氣體輸送管路，該第一焚燒熱氣回收管路的一端與該第一熱側(cè)管路的一端連接，該第一焚燒熱氣回收管路的另一端與該直燃式焚燒爐的出氣口連接，該第一熱氣回收管路的一端與該第一熱側(cè)管路的另一端連接，該第一熱氣回收管路的另一端與該第二熱側(cè)管路的一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的一端與該第一冷側(cè)管路的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的另一端與該直燃式焚燒爐的進(jìn)氣口連接；

一第二熱交換器，該第二熱交換器設(shè)有第二冷側(cè)管路及第二熱側(cè)管路，該第二冷側(cè)管路的一端與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該第二冷側(cè)管路的另一端與該熱氣輸送管路的另一端連接；

一第三熱交換器，該第三熱交換器設(shè)有第三冷側(cè)管路及第三熱側(cè)管路，該第三熱交換器連接有一第三脫附濃縮氣體輸送管路及一第三熱氣回收管路，該第三脫附濃縮氣體輸送管路的一端與該第三冷側(cè)管路的另一端連接，該第三脫附濃縮氣體輸送管路的另一端與該第一冷側(cè)管路的一端連接，該第三熱氣回收管路的一端與該第三熱側(cè)管路的一端連接，該第三熱氣回收管路的另一端與該第二熱側(cè)管路的另一端連接；

一第四熱交換器，該第四熱交換器設(shè)有第四冷側(cè)管路及第四熱側(cè)管路，該第四熱交換器連接有一第四脫附濃縮氣體輸送管路及一第四熱氣回收管路，該第四冷側(cè)管路的一端與該脫附濃縮氣體管路的另一端連接，該第四脫附濃縮氣體輸送管路的一端與該第四冷側(cè)管路的另一端連接，該第四脫附濃縮氣體輸送管路的另一端與該第三冷側(cè)管路的一端連接，該第四熱氣回收管路的一端與該第四熱側(cè)管路的一端連接，該第四熱氣回收管路的另一端與該第三熱側(cè)管路的另一端連接；

一冷卻器，該冷卻器內(nèi)設(shè)有冷卻水管路，該冷卻器連接有一冷卻熱氣回收管路，該冷卻熱氣回收管路的另一端與該第三熱側(cè)管路的另一端連接；以及一除塵設(shè)備，該除塵設(shè)備連接有一除塵進(jìn)氣管路及一除塵出氣管路，該除塵進(jìn)氣管路的一端與該除塵設(shè)備連接，該除塵進(jìn)氣管路的另一端與該冷卻器連接，該除塵出氣管路的一端與該除塵設(shè)備連接，該除塵出氣管路的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該凈氣排放管路的另一端進(jìn)一步連接一煙囪。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間進(jìn)一步設(shè)有一連通管路，該連通管路設(shè)有一連通控制閥門，該熱氣輸送管路設(shè)有一熱氣控制閥門，并通過(guò)該連通控制閥門及該熱氣控制閥門形成比例風(fēng)門。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間進(jìn)一步設(shè)有一連通管路，該連通管路設(shè)有一連通控制閥門，該冷卻氣輸送管路設(shè)有一冷卻氣控制閥門，并通過(guò)該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門形成比例風(fēng)門。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該除塵設(shè)備進(jìn)一步為袋式除塵器、電袋式復(fù)合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈沖除塵器、脈沖袋式除塵器、脈沖濾芯除塵器、脈沖噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風(fēng)分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負(fù)壓反吹濾袋除塵器、低壓長(zhǎng)袋脈沖除塵器、臥式靜電除塵器、無(wú)動(dòng)力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風(fēng)除塵器或防爆除塵器的其中一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該冷卻氣進(jìn)氣管路進(jìn)一步輸送外氣至該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)，且該外氣為新鮮空氣。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該冷卻氣進(jìn)氣管路進(jìn)一步設(shè)有一氣體旁通管路，該氣體旁通管路的一端與該冷卻氣進(jìn)氣管路連接，該氣體旁通管路的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該凈氣排放管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該除塵出氣管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該冷卻器進(jìn)一步為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器的其中一種。

12.一種直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，主要用于該有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，包括有一直燃式焚燒爐、一吸附轉(zhuǎn)輪、一第一熱交換器、一第二熱交換器、一第三熱交換器、一冷卻器及一除塵設(shè)備，該吸附轉(zhuǎn)輪設(shè)有吸附區(qū)、脫附區(qū)及冷卻區(qū)，該吸附轉(zhuǎn)輪連接有一廢氣進(jìn)氣管路、一凈氣排放管路、一冷卻氣進(jìn)氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該第一熱交換器設(shè)有第一冷側(cè)管路及第一熱側(cè)管路，該第二熱交換器設(shè)有第二冷側(cè)管路及第二熱側(cè)管路，該第三熱交換器設(shè)有第三冷側(cè)管路及第三熱側(cè)管路，而該處理方法的主要步驟包括：吸附區(qū)吸附：將廢氣通過(guò)該廢氣進(jìn)氣管路的另一端送入該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)的一側(cè)進(jìn)行吸附，再將吸附后的氣體通過(guò)該凈氣排放管路的另一端進(jìn)行輸送；

冷卻區(qū)冷卻：通過(guò)該冷卻氣進(jìn)氣管路的另一端輸送冷卻氣至該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)進(jìn)行冷卻，再通過(guò)該冷卻氣輸送管路的另一端將經(jīng)過(guò)冷卻區(qū)的冷卻氣輸送到該第二熱交換器的第二冷側(cè)管路的一端；

脫附區(qū)脫附：通過(guò)與第二熱交換器的第二冷側(cè)管路的另一端連接的熱氣輸送管路將熱氣體輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)進(jìn)行脫附，再通過(guò)該脫附濃縮氣體管路的另一端將脫附濃縮氣體輸送到第三熱交換器的第三冷側(cè)管路的一端；

脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再通過(guò)該第三熱交換器的第三冷側(cè)管路的另一端連接的第三脫附濃縮氣體輸送管路輸送到該第一熱交換器的第一冷側(cè)管路的一端，并再通過(guò)該第一熱交換器的第一冷側(cè)管路的另一端連接的第一脫附濃縮氣體輸送管路輸送到該直燃式焚燒爐的進(jìn)氣口；

焚燒氣體回收輸送：將經(jīng)過(guò)焚燒后的氣體通過(guò)與該直燃式焚燒爐的出氣口連接的第一焚燒熱氣回收管路輸送到該第一熱交換器的第一熱側(cè)管路的一端，再由該第一熱交換器的第一熱側(cè)管路的另一端連接的第一熱氣回收管路輸送到該第二熱交換器的第二熱側(cè)管路的一端；

焚燒氣體再輸送：將輸送到該第二熱交器的第二熱側(cè)管路的焚燒后的氣體，再經(jīng)過(guò)與該第二熱交換器的第二熱側(cè)管路的另一端連接的第三熱氣回收管路輸送到該第三熱交換器的第三熱側(cè)管路的一端，并再通過(guò)與該第三熱交換器的第三熱側(cè)管路的另一端連接的冷卻熱氣回收管路輸送到該冷卻器；以及經(jīng)過(guò)除塵設(shè)備回收：將輸送到該冷卻器的焚燒后的氣體，再經(jīng)過(guò)與該冷卻器連接的除塵進(jìn)氣管路輸送到該除塵設(shè)備，并再通過(guò)該除塵設(shè)備連接的除塵出氣管路輸送到該廢氣進(jìn)氣管路的一端。

13.一種直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，主要用于有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，包括有一直燃式焚燒爐、一吸附轉(zhuǎn)輪、一第一熱交換器、一第二熱交換器、一第三熱交換器、一第四熱交換器、一冷卻器及一除塵設(shè)備，該吸附轉(zhuǎn)輪設(shè)有吸附區(qū)、脫附區(qū)及冷卻區(qū)，該吸附轉(zhuǎn)輪連接有一廢氣進(jìn)氣管路、一凈氣排放管路、一冷卻氣進(jìn)氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該第一熱交換器設(shè)有第一冷側(cè)管路及第一熱側(cè)管路，該第二熱交換器設(shè)有第二冷側(cè)管路及第二熱側(cè)管路，該第三熱交換器設(shè)有第三冷側(cè)管路及第三熱側(cè)管路，該第四熱交換器設(shè)有第四冷側(cè)管路及第四熱側(cè)管路，而該處理方法的主要步驟包括：吸附區(qū)吸附：將廢氣通過(guò)該廢氣進(jìn)氣管路的另一端送入該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)的一側(cè)進(jìn)行吸附，再將吸附后的氣體通過(guò)該凈氣排放管路的另一端進(jìn)行輸送；

冷卻區(qū)冷卻：通過(guò)該冷卻氣進(jìn)氣管路的另一端輸送冷卻氣至該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)進(jìn)行冷卻，再通過(guò)該冷卻氣輸送管路的另一端將經(jīng)過(guò)冷卻區(qū)的冷卻氣輸送到該第二熱交換器的第二冷側(cè)管路的一端；

脫附區(qū)脫附：通過(guò)與第二熱交換器的第二冷側(cè)管路的另一端連接的熱氣輸送管路將熱氣體輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)進(jìn)行脫附，再通過(guò)該脫附濃縮氣體管路的另一端將脫附濃縮氣體輸送到第四熱交換器的第四冷側(cè)管路的一端；

脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再通過(guò)該第四熱交換器的第四冷側(cè)管路的另一端連接的第四脫附濃縮氣體輸送管路輸送到該第三熱交換器的第三冷側(cè)管路的一端，并再通過(guò)該第三熱交換器的第三冷側(cè)管路的另一端連接的第三脫附濃縮氣體輸送管路輸送到該第一熱交換器的第一冷側(cè)管路的一端，且再通過(guò)該第一熱交換器的第一冷側(cè)管路的另一端連接的第一脫附濃縮氣體輸送管路輸送到該直燃式焚燒爐的進(jìn)氣口；

焚燒氣體回收輸送：將經(jīng)過(guò)焚燒后的氣體通過(guò)與該直燃式焚燒爐的出氣口連接的第一焚燒熱氣回收管路輸送到該第一熱交換器的第一熱側(cè)管路的一端，再由該第一熱交換器的第一熱側(cè)管路的另一端連接的第一熱氣回收管路輸送到該第二熱交換器的第二熱側(cè)管路的一端；

焚燒氣體再輸送：將輸送到該第二熱交器的第二熱側(cè)管路的焚燒后的氣體，再經(jīng)過(guò)與該第二熱交換器的第二熱側(cè)管路的另一端連接的第三熱氣回收管路輸送到該第三熱交換器的第三熱側(cè)管路的一端，并再通過(guò)與該第三熱交換器的第三熱側(cè)管路的另一端連接的第四熱氣回收管路輸送到該第四熱交換器的第四熱側(cè)管路的一端，且再通過(guò)與該第四熱交換器的第四熱側(cè)管路的另一端連接的冷卻熱氣回收管路輸送到該冷卻器；以及經(jīng)過(guò)除塵設(shè)備回收：將輸送到該冷卻器的焚燒后的氣體，再經(jīng)過(guò)與該冷卻器連接的除塵進(jìn)氣管路輸送到該除塵設(shè)備，并再通過(guò)該除塵設(shè)備連接的除塵出氣管路輸送到該廢氣進(jìn)氣管路的一端。

14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，該凈氣排放管路的另一端進(jìn)一步連接一煙囪。

15.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間進(jìn)一步設(shè)有一連通管路，該連通管路設(shè)有一連通控制閥門，該熱氣輸送管路設(shè)有一熱氣控制閥門，并通過(guò)該連通控制閥門及該熱氣控制閥門形成比例風(fēng)門。

16.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間進(jìn)一步設(shè)有一連通管路，該連通管路設(shè)有一連通控制閥門，該冷卻氣輸送管路設(shè)有一冷卻氣控制閥門，并通過(guò)該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門形成比例風(fēng)門。

17.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，該除塵設(shè)備進(jìn)一步為袋式除塵器、電袋式復(fù)合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈沖除塵器、脈沖袋式除塵器、脈沖濾芯除塵器、脈沖噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風(fēng)分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負(fù)壓反吹濾袋除塵器、低壓長(zhǎng)袋脈沖除塵器、臥式靜電除塵器、無(wú)動(dòng)力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風(fēng)除塵器或防爆除塵器的其中一種。

18.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，該冷卻氣進(jìn)氣管路進(jìn)一步輸送外氣至該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)，且該外氣為新鮮空氣。

19.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，該冷卻氣進(jìn)氣管路進(jìn)一步設(shè)有一氣體旁通管路，該氣體旁通管路的一端與該冷卻氣進(jìn)氣管路連接，該氣體旁通管路的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路連接。

20.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，該凈氣排放管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

21.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，該除塵出氣管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

22.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其特征在于，該冷卻器進(jìn)一步為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器的其中一種。

說(shuō)明書(shū)： 直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)及其方法技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及一種直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)及其方法，尤指一種用來(lái)將燃燒后的氣體進(jìn)入該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)循環(huán)利用，且不經(jīng)過(guò)該煙囪進(jìn)行排放，使有機(jī)廢氣的處理效率提升，而適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)或化學(xué)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)或類似設(shè)備。背景技術(shù)[0002] 目前在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)或光電產(chǎn)業(yè)的制造生產(chǎn)過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生具有揮發(fā)性有機(jī)氣體(OC)，因此，在各廠區(qū)都會(huì)安裝處理?yè)]發(fā)性有機(jī)氣體(OC)的處理設(shè)備，以避免揮發(fā)性有機(jī)氣體(OC)直接排入空氣中而造成空氣污染。而目前經(jīng)過(guò)該處理設(shè)備脫附的濃縮氣體大都是輸送到該焚燒爐進(jìn)行燃燒，再將燃燒后的氣體輸送到煙囪進(jìn)行排放。[0003] 但是近年來(lái)，不管是中央政府或是各地方政府都對(duì)空氣污染非常重視，也因此在煙囪的排放標(biāo)準(zhǔn)上制定了有關(guān)懸浮微粒(PM10)及細(xì)懸浮微粒(PM2.5)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，并依據(jù)其國(guó)內(nèi)健康影響研究結(jié)果，以健康影響為優(yōu)先考量，將“細(xì)懸浮微粒(PM2.5)”24小時(shí)值定為3 3

35μg/m、年平均值定為15μg/m。且環(huán)保部門初步定于2020年達(dá)成全國(guó)細(xì)懸浮微粒濃度年平

3

均值15μg/m的目標(biāo)，同時(shí)將依國(guó)際管制趨勢(shì)發(fā)展，逐期檢討其細(xì)懸浮微粒(PM2.5)空氣質(zhì)量

3 3

標(biāo)準(zhǔn)，并朝達(dá)成WHO提出的空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)值(24小時(shí)值定為25μg/m 、年平均值訂為10μg/m)為空氣質(zhì)量改善目標(biāo)。

[0004] 因此，本發(fā)明有鑒于上述缺失，期望能提出一種具有提升有機(jī)廢氣處理效率的直燃回流有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)及其方法，使使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設(shè)計(jì)組制，以提供使用者便利性，為本發(fā)明的發(fā)明動(dòng)機(jī)。發(fā)明內(nèi)容[0005] 本發(fā)明的主要目的，在于提供一種直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)及其方法，主要將直燃式焚燒爐的排氣經(jīng)過(guò)三個(gè)以上的熱交換器進(jìn)行熱回收，并將該直燃式焚燒爐的排氣再經(jīng)過(guò)一個(gè)冷卻器進(jìn)行熱交換，而得以進(jìn)行冷卻后再輸送到該除塵設(shè)備中，以進(jìn)行粉塵或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分離，最后再將由該除塵設(shè)備輸出的氣體輸送到該廢氣進(jìn)氣管路，使燃燒后的氣體進(jìn)入該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)循環(huán)利用，而不經(jīng)過(guò)該煙囪進(jìn)行排放，使該煙囪的排放量降低，并使有機(jī)廢氣的處理效率提升，進(jìn)而增加整體的實(shí)用性。[0006] 本發(fā)明的另一目的，在于提供一種直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)及其方法，通過(guò)該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間設(shè)有一連通管路，且該連通管路設(shè)有一連通控制閥門，而該熱氣輸送管路設(shè)有一熱氣控制閥門，并通過(guò)該連通控制閥門及該熱氣控制閥門形成比例風(fēng)門，借此，通過(guò)該連通控制閥門及該熱氣控制閥門的設(shè)計(jì)形成具有比例風(fēng)門的效能，以能調(diào)整控制風(fēng)力的大小，使該熱氣輸送管路內(nèi)的溫度保持一定高溫提供給該吸附轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)使用，并具有節(jié)省能源的效能，進(jìn)而增加整體的使用性。[0007] 本發(fā)明的再一目的，在于提供一種直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)及其方法，通過(guò)該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間設(shè)有一連通管路，且該連通管路設(shè)有一連通控制閥門，而該冷卻氣輸送管路設(shè)有一冷卻氣控制閥門，并通過(guò)該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門形成比例風(fēng)門，借此，通過(guò)該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門的設(shè)計(jì)形成具有比例風(fēng)門的效能，以能調(diào)整控制風(fēng)力的大小，使該熱氣輸送管路內(nèi)的溫度保持一定高溫提供給該吸附轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)使用，并具有節(jié)省能源的效能，進(jìn)而增加整體的操作性。[0008] 為了能夠更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征、特點(diǎn)和技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，但所附附圖僅提供參考與說(shuō)明用，非用以限制本發(fā)明。附圖說(shuō)明[0009] 圖1為本發(fā)明的第一種實(shí)施方式的主要步驟流程圖；[0010] 圖2為本發(fā)明的第一種實(shí)施方式的主要結(jié)構(gòu)示意圖；[0011] 圖3為本發(fā)明的第一種實(shí)施方式的第一種比例風(fēng)門的結(jié)構(gòu)示意圖；[0012] 圖4為本發(fā)明的第一種實(shí)施方式的第二種比例風(fēng)門的結(jié)構(gòu)構(gòu)示意圖；[0013] 圖5為本發(fā)明的第二種實(shí)施方式的主要步驟流程圖；[0014] 圖6為本發(fā)明的第二種實(shí)施方式的主要結(jié)構(gòu)示意圖；[0015] 圖7為本發(fā)明的第二種實(shí)施方式的第一種比例風(fēng)門的結(jié)構(gòu)示意圖；[0016] 圖8為本發(fā)明的第二種實(shí)施方式的第二種比例風(fēng)門的結(jié)構(gòu)示意圖。[0017] 【附圖標(biāo)記說(shuō)明】[0018] 10、直燃式焚燒爐11、進(jìn)氣口[0019] 12、出氣口20、吸附轉(zhuǎn)輪[0020] 201、吸附區(qū)202、冷卻區(qū)[0021] 203、脫附區(qū)21、廢氣進(jìn)氣管路[0022] 22、凈氣排放管路221、風(fēng)機(jī)[0023] 23、冷卻氣進(jìn)氣管路231、氣體旁通管路[0024] 24、冷卻氣輸送管路241、冷卻氣控制閥門[0025] 25、熱氣輸送管路251、熱氣控制閥門[0026] 26、脫附濃縮氣體管路27、連通管路[0027] 271、連通控制閥門30、第一熱交換器[0028] 301、第一冷側(cè)管路302、第一熱側(cè)管路[0029] 31、第一熱氣回收管路32、第一焚燒熱氣回收管路[0030] 33、第一脫附濃縮氣體輸送管路40、第二熱交換器[0031] 401、第二冷側(cè)管路402、第二熱側(cè)管路[0032] 50、第三熱交換器501、第三冷側(cè)管路[0033] 502、第三熱側(cè)管路[0034] 51、第三脫附濃縮氣體輸送管路[0035] 52、第三熱氣回收管路60、第四熱交換器[0036] 601、第四冷側(cè)管路602、第四熱側(cè)管路[0037] 61、第四脫附濃縮氣體輸送管路62、第四熱氣回收管路[0038] 70、冷卻器71、冷卻水管路[0039] 72、冷卻熱氣回收管路80、除塵設(shè)備[0040] 81、除塵進(jìn)氣管路82、除塵出氣管路[0041] 821、風(fēng)機(jī)90、煙囪[0042] S100、吸附區(qū)吸附[0043] S110、冷卻區(qū)冷卻[0044] S120、脫附區(qū)脫附[0045] S130、脫附濃縮氣體輸送[0046] S140、焚燒氣體回收輸送[0047] S150、焚燒氣體再輸送[0048] S160、經(jīng)過(guò)除塵設(shè)備回收[0049] S200、吸附區(qū)吸附[0050] S210、冷卻區(qū)冷卻[0051] S220、脫附區(qū)脫附[0052] S230、脫附濃縮氣體輸送[0053] S240、焚燒氣體回收輸送[0054] S250、焚燒氣體再輸送[0055] S260、經(jīng)過(guò)除塵設(shè)備回收具體實(shí)施方式[0056] 請(qǐng)參閱圖1至圖8，為本發(fā)明實(shí)施例的示意圖，而本發(fā)明的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)及其方法的最佳實(shí)施方式是運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)或化學(xué)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的揮發(fā)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)或類似設(shè)備，主要是將燃燒后的氣體進(jìn)入該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)循環(huán)利用，且不經(jīng)過(guò)該煙囪進(jìn)行排放，使有機(jī)廢氣的處理效率提升。[0057] 而本發(fā)明第一種實(shí)施方式的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，主要設(shè)有一直燃式焚燒爐10、一吸附轉(zhuǎn)輪20、一第一熱交換器30、一第二熱交換器40、一第三熱交換器50、一冷卻器70及一除塵設(shè)備80(如圖2至圖4所示)，其中該第一熱交換器30設(shè)有第一冷側(cè)管路301及第一熱側(cè)管路302，該第二熱交換器40設(shè)有第二冷側(cè)管路401及第二熱側(cè)管路402，該第三熱交換器50設(shè)有第三冷側(cè)管路501及第三熱側(cè)管路502，而該除塵設(shè)備80為袋式除塵器、電袋式復(fù)合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈沖除塵器、脈沖袋式除塵器、脈沖濾芯除塵器、脈沖噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風(fēng)分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負(fù)壓反吹濾袋除塵器、低壓長(zhǎng)袋脈沖除塵器、臥式靜電除塵器、無(wú)動(dòng)力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風(fēng)除塵器或防爆除塵器的其中一種，另外該直燃式焚燒爐(TO)10設(shè)有一進(jìn)氣口11及一出氣口12，且該直燃式焚燒爐(TO)10內(nèi)設(shè)有爐頭及爐膛，使該有機(jī)廢氣由該進(jìn)氣口11進(jìn)入該爐頭進(jìn)行燃燒，再使經(jīng)過(guò)燃燒后的氣體穿過(guò)該爐膛并由該出氣口12排出。

[0058] 而該吸附轉(zhuǎn)輪20為沸石濃縮轉(zhuǎn)輪或是其他材質(zhì)的濃縮轉(zhuǎn)輪，且該吸附轉(zhuǎn)輪20內(nèi)設(shè)有吸附區(qū)201、冷卻區(qū)202及脫附區(qū)203，該吸附轉(zhuǎn)輪20設(shè)有一廢氣進(jìn)氣管路21、一凈氣排放管路22、一冷卻氣進(jìn)氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一熱氣輸送管路25及一脫附濃縮氣體管路26(如圖2至圖4所示)，而該廢氣進(jìn)氣管路21的另一端連接至該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201的一側(cè)，以使該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201吸附該廢氣進(jìn)氣管路21內(nèi)的廢氣，且該凈氣排放管路22的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201的另一側(cè)連接，使該廢氣經(jīng)該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201凈化后再由該凈氣排放管路22輸送。

[0059] 另外該冷卻氣進(jìn)氣管路23的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202的一側(cè)連接，而該冷卻氣進(jìn)氣管路23有兩種實(shí)施形式，其中第一種實(shí)施形式為該冷卻氣進(jìn)氣管路23供外氣進(jìn)入(如圖2及圖3所示)，而該外氣為新鮮空氣，以將該外氣用輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202內(nèi)提供降溫使用，另外第二種實(shí)施形式為該冷卻氣進(jìn)氣管路23設(shè)有一氣體旁通管路231(如圖4所示)，該氣體旁通管路231的一端與該冷卻氣進(jìn)氣管路23連接，而該氣體旁通管路

231的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路21連接，通過(guò)該氣體旁通管路231將部分的廢氣輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202內(nèi)提供降溫使用。

[0060] 另外該冷卻氣輸送管路24的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202的另一側(cè)連接，而該冷卻氣輸送管路24的另一端與該第二熱交換器40的第二冷側(cè)管路401的一端連接，以將該冷卻氣輸送管路24內(nèi)的冷卻氣輸送到該第二熱交換器40內(nèi)進(jìn)行熱交換(如圖2至圖4所示)，另外該第二熱交換器40的第二冷側(cè)管路401的另一端與該熱氣輸送管路25的另一端連接，而該熱氣輸送管路25的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203的另一側(cè)連接，且該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203的一側(cè)與該脫附濃縮氣體管路26的一端連接，使將經(jīng)過(guò)該第二熱交換器40提升的熱氣通過(guò)該熱氣輸送管路25傳輸?shù)皆撐睫D(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203進(jìn)行脫附使用，并將經(jīng)過(guò)高溫脫附下來(lái)的脫附濃縮氣體通過(guò)該脫附濃縮氣體管路26傳輸運(yùn)送。

[0061] 另外本發(fā)明第一種實(shí)施方式中的該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有比例風(fēng)門，而該比例風(fēng)門設(shè)有兩種實(shí)施形式，其中第一種實(shí)施形式為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有一連通管路27，且該連通管路27設(shè)有一連通控制閥門271，而該熱氣輸送管路25設(shè)有一熱氣控制閥門251(如圖3所示)，并通過(guò)該連通控制閥門

271及該熱氣控制閥門251形成比例風(fēng)門，另外第二實(shí)施形式為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有一連通管路27，且該連通管路27設(shè)有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24設(shè)有一冷卻氣控制閥門241(如圖4所示)，并通過(guò)該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241形成比例風(fēng)門，借此，不管是通過(guò)該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門

251的設(shè)計(jì)的比例風(fēng)門或是通過(guò)該該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241的設(shè)計(jì)的比例風(fēng)門，都能調(diào)整控制風(fēng)力的大小，使該熱氣輸送管路25內(nèi)的溫度保持一定高溫提供給該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203使用。

[0062] 此外，該第三熱交換器50連接有一第三脫附濃縮氣體輸送管路51及一第三熱氣回收管路52，該第三熱交換器50的第三冷側(cè)管路501的一端與該脫附濃縮氣體管路26的另一端連接(如圖2至圖4所示)，該第三脫附濃縮氣體輸送管路51的一端與該第三熱交換器50的第三冷側(cè)管路501的另一端連接，該第三脫附濃縮氣體輸送管路51的另一端與該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路301的一端連接，該第三熱氣回收管路52的一端與該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502的一端連接，該第三熱氣回收管路52的另一端與該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402的另一端連接。借此，使該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203脫附下來(lái)的脫附濃縮氣體通過(guò)該脫附濃縮氣體管路26傳輸?shù)皆摰谌裏峤粨Q器50的第三冷側(cè)管路501進(jìn)行熱交換，并再通過(guò)該第三脫附濃縮氣體輸送管路51傳輸?shù)皆摰谝粺峤粨Q器30的第一冷側(cè)管路

301進(jìn)行熱交換。

[0063] 另外該第一熱交換器30連接有一第一熱氣回收管路31、一第一焚燒熱氣回收管路32及一第一脫附濃縮氣體輸送管路33，其中該第一焚燒熱氣回收管路32的一端與該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302的一端連接，該第一焚燒熱氣回收管路32的另一端與該直燃式焚燒爐10的出氣口12連接(如圖2至圖4所示)，該第一熱氣回收管路31的一端與該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302的另一端連接，該第一熱氣回收管路31的另一端與該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402的一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路33的一端與該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路301的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路33的另一端與該直燃式焚燒爐10的進(jìn)氣口11連接。借此，使經(jīng)過(guò)該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路

301輸送的脫附濃縮氣體通過(guò)該第一脫附濃縮氣體輸送管路33輸送到該直燃式焚燒爐10的進(jìn)氣口11，再將經(jīng)過(guò)該直燃式焚燒爐10燃燒后的氣體由該出氣口12通過(guò)該第一焚燒熱氣回收管路32輸送到該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302內(nèi)進(jìn)行熱回收，并經(jīng)過(guò)該第一熱氣回收管路31輸送到該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402內(nèi)進(jìn)行熱回收，且再經(jīng)過(guò)該第三熱氣回收管路52輸送到該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502內(nèi)進(jìn)行熱回收。

[0064] 另外該冷卻器70內(nèi)設(shè)有冷卻水管路71，以一進(jìn)一出的方式將流經(jīng)該冷卻器70的高溫?zé)釟膺M(jìn)行降溫，且該冷卻器70為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器的其中一種，而該冷卻器連接有一冷卻熱氣回收管路72，該冷卻熱氣回收管路72與該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502的另一端連接(如圖2至圖4所示)。而該除塵設(shè)備80連接有一除塵進(jìn)氣管路81及一除塵出氣管路82，該除塵進(jìn)氣管路81的一端與該除塵設(shè)備連80接，該除塵進(jìn)氣管路80的另一端與該冷卻器70連接，該除塵出氣管路82的一端與該除塵設(shè)備80連接，該除塵出氣管路82的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路21連接。另外該除塵出氣管路82設(shè)有一風(fēng)機(jī)821，以將該除塵出氣管路82內(nèi)的氣體推向該廢氣進(jìn)氣管路21內(nèi)。借此，將經(jīng)過(guò)該直燃式焚燒爐10燃燒后的氣體由該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502通過(guò)該冷卻熱氣回收管路72輸送到該冷卻器70進(jìn)行熱交換，而該冷卻器70再通過(guò)該除塵進(jìn)氣管路81輸送到該除塵設(shè)備80內(nèi)以進(jìn)行粉塵或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分離，最后再將由該除塵設(shè)備80輸出的氣體輸送到該廢氣進(jìn)氣管路21，使燃燒后的氣體進(jìn)入該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201循環(huán)利用，而不經(jīng)過(guò)該煙囪90進(jìn)行排放，使該煙囪90的排放量降低，并使有機(jī)廢氣的處理效率提升。[0065] 最后，該凈氣排放管路22的另一端連接一煙囪90，使經(jīng)過(guò)該凈氣排放管路22排出凈化后氣體輸送到煙囪90進(jìn)行排放(如圖2至圖4所示)。另外該凈氣排放管路22設(shè)有一風(fēng)機(jī)221，以將該凈氣排放管路22內(nèi)的氣體推向該煙囪90。

[0066] 而本發(fā)明第一種實(shí)施方式的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其主要用于有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，且包括有一直燃式焚燒爐10、一吸附轉(zhuǎn)輪20、一第一熱交換器30、一第二熱交換器40、一第三熱交換器50、一冷卻器70及一除塵設(shè)備80(如圖2至圖4所示)，該吸附轉(zhuǎn)輪20設(shè)有吸附區(qū)201、脫附區(qū)203及冷卻區(qū)202，該吸附轉(zhuǎn)輪20連接有一廢氣進(jìn)氣管路21、一凈氣排放管路22、一冷卻氣進(jìn)氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一熱氣輸送管路25及一脫附濃縮氣體管路26，該第一熱交換器30設(shè)有第一冷側(cè)管路301及第一熱側(cè)管路302，該第二熱交換器40設(shè)有第二冷側(cè)管路401及第二熱側(cè)管路402，該第三熱交換器50設(shè)有第三冷側(cè)管路

501及第三熱側(cè)管路502。

[0067] 而該除塵設(shè)備80為袋式除塵器、電袋式復(fù)合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈沖除塵器、脈沖袋式除塵器、脈沖濾芯除塵器、脈沖噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風(fēng)分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負(fù)壓反吹濾袋除塵器、低壓長(zhǎng)袋脈沖除塵器、臥式靜電除塵器、無(wú)動(dòng)力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風(fēng)除塵器或防爆除塵器的其中一種，另外該直燃式焚燒爐(TO)10設(shè)有一進(jìn)氣口11及一出氣口12，且該直燃式焚燒爐(TO)10內(nèi)設(shè)有爐頭及爐膛，使該有機(jī)廢氣由該進(jìn)氣口11進(jìn)入該爐頭進(jìn)行燃燒，再使經(jīng)過(guò)燃燒后的氣體穿過(guò)該爐膛并由該出氣口12排出。而該處理方法的主要步驟(如圖1所示)包括：步驟S100吸附區(qū)吸附：將廢氣通過(guò)該廢氣進(jìn)氣管路21的另一端送入該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201的一側(cè)進(jìn)行吸附，再將吸附后的氣體通過(guò)該凈氣排放管路22的另一端進(jìn)行輸送。而完成上述步驟S100后即進(jìn)行下一步驟S110。[0068] 其中上述的步驟S100中該凈氣排放管路22的另一端連接一煙囪90，使經(jīng)過(guò)該凈氣排放管路22排出凈化后氣體輸送到煙囪90進(jìn)行排放(如圖2至圖4所示)。另外該凈氣排放管路22設(shè)有一風(fēng)機(jī)221，以將該凈氣排放管路22內(nèi)的氣體推向該煙囪90。[0069] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S110冷卻區(qū)冷卻：通過(guò)該冷卻氣進(jìn)氣管路23的另一端輸送冷卻氣至該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202進(jìn)行冷卻，再通過(guò)該冷卻氣輸送管路24的另一端將經(jīng)過(guò)冷卻區(qū)的冷卻氣輸送到該第二熱交換器40的第二冷側(cè)管路401的一端。而完成上述步驟S110后即進(jìn)行下一步驟S120。[0070] 其中上述的步驟S110中該冷卻氣進(jìn)氣管路23的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202的一側(cè)連接，而該冷卻氣進(jìn)氣管路23有兩種實(shí)施形式，其中第一種實(shí)施形式為該冷卻氣進(jìn)氣管路23供外氣進(jìn)入(如圖2及圖3所示)，而該外氣為新鮮空氣，以將該外氣輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202內(nèi)提供降溫使用，另外第二種實(shí)施形式為該冷卻氣進(jìn)氣管路23設(shè)有一氣體旁通管路231(如圖4所示)，該氣體旁通管路231的一端與該冷卻氣進(jìn)氣管路23連接，而該氣體旁通管路231的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路21連接，通過(guò)該氣體旁通管路231將部分的廢氣輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202內(nèi)提供降溫使用。[0071] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S120脫附區(qū)脫附：通過(guò)與第二熱交換器40的第二冷側(cè)管路401的另一端連接的熱氣輸送管路25將熱氣體輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203進(jìn)行脫附，再通過(guò)該脫附濃縮氣體管路26的另一端將脫附濃縮氣體輸送到第三熱交換器50的第三冷側(cè)管路501的一端。而完成上述步驟S120后即進(jìn)行下一步驟S130。[0072] 其中該上述的步驟S120中該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有比例風(fēng)門，而該比例風(fēng)門設(shè)有兩種實(shí)施形式，其中第一種實(shí)施形式為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有一連通管路27，且該連通管路27設(shè)有一連通控制閥門271，而該熱氣輸送管路25設(shè)有一熱氣控制閥門251(如圖3所示)，并通過(guò)該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251形成比例風(fēng)門，另外第二實(shí)施形式為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有一連通管路27，且該連通管路27設(shè)有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24設(shè)有一冷卻氣控制閥門241(如圖4所示)，并通過(guò)該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241形成比例風(fēng)門，借此，不管是通過(guò)該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251的設(shè)計(jì)的比例風(fēng)門或是通過(guò)該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241的設(shè)計(jì)的比例風(fēng)門，都能調(diào)整控制風(fēng)力的大小，使該熱氣輸送管路25內(nèi)的溫度保持一定高溫提供給該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203使用。[0073] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S130脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再通過(guò)該第三熱交換器50的第三冷側(cè)管路501的另一端連接的第三脫附濃縮氣體輸送管路51輸送到該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路301的一端，并再通過(guò)該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路301的另一端連接的第一脫附濃縮氣體輸送管路33輸送到該直燃式焚燒爐10的進(jìn)氣口11。而完成上述步驟S130后即進(jìn)行下一步驟S140。[0074] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S140焚燒氣體回收輸送：將經(jīng)過(guò)焚燒后的氣體通過(guò)與該直燃式焚燒爐10的出氣口12連接的第一焚燒熱氣回收管路32輸送到該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302的一端，再由該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302的另一端連接的第一熱氣回收管路31輸送到該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402的一端。而完成上述步驟S140后即進(jìn)行下一步驟S150。[0075] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S150焚燒氣體再輸送：將輸送到該第二熱交器40的第二熱側(cè)管路402的焚燒后的氣體，再經(jīng)過(guò)與該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402的另一端連接的第三熱氣回收管路52輸送到該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502的一端，并再通過(guò)與該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502的另一端連接的該冷卻熱氣回收管路72輸送到該冷卻器70。而完成上述步驟S150后即進(jìn)行下一步驟S160。[0076] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S160經(jīng)過(guò)除塵設(shè)備回收：將輸送到該冷卻器70的焚燒后的氣體，再經(jīng)過(guò)與該冷卻器70連接的除塵進(jìn)氣管路81輸送到該除塵設(shè)備80，并再通過(guò)該除塵設(shè)備80連接的除塵出氣管路82輸送到該廢氣進(jìn)氣管路21的一端。其中該除塵出氣管路82設(shè)有一風(fēng)機(jī)821，以將該除塵出氣管路82內(nèi)的氣體推向該廢氣進(jìn)氣管路21內(nèi)。[0077] 借此，使該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203脫附下來(lái)的脫附濃縮氣體通過(guò)該脫附濃縮氣體管路26傳輸?shù)皆摰谌裏峤粨Q器50的第三冷側(cè)管路501進(jìn)行熱交換，并再通過(guò)該第三脫附濃縮氣體輸送管路51傳輸?shù)皆摰谝粺峤粨Q器30的第一冷側(cè)管路301進(jìn)行熱交換(如圖2至圖4所示)。再使經(jīng)過(guò)該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路301輸送的脫附濃縮氣體通過(guò)該第一脫附濃縮氣體輸送管路33輸送到該直燃式焚燒爐10的進(jìn)氣口11，再將經(jīng)過(guò)該直燃式焚燒爐

10燃燒后的氣體由該出氣口12通過(guò)該第一焚燒熱氣回收管路32輸送到該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302內(nèi)進(jìn)行熱回收，并經(jīng)過(guò)該第一熱氣回收管路31輸送到該第二熱交換器

40的第二熱側(cè)管路402內(nèi)進(jìn)行熱回收，且再經(jīng)過(guò)該第三熱氣回收管路52輸送到該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502內(nèi)進(jìn)行熱回收。另外由該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502通過(guò)該冷卻熱氣回收管路72輸送到該冷卻器70進(jìn)行熱交換，且該冷卻器70為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器的其中一種，而該冷卻器70再通過(guò)該除塵進(jìn)氣管路81輸送到該除塵設(shè)備80內(nèi)以進(jìn)行粉塵或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分離，最后再將由該除塵設(shè)備80輸出的氣體輸送到該廢氣進(jìn)氣管路21，使燃燒后的氣體進(jìn)入該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)

201循環(huán)利用，而不經(jīng)過(guò)該煙囪90進(jìn)行排放，使該煙囪90的排放量降低，并使有機(jī)廢氣的處理效率提升。

[0078] 而本發(fā)明第二種實(shí)施方式的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，主要設(shè)有一直燃式焚燒爐10、一吸附轉(zhuǎn)輪20、一第一熱交換器30、一第二熱交換器40、一第三熱交換器50、第四熱交換器60、一冷卻器70及一除塵設(shè)備80(如圖6至圖8所示)，其中該第一熱交換器30設(shè)有第一冷側(cè)管路301及第一熱側(cè)管路302，該第二熱交換器40設(shè)有第二冷側(cè)管路401及第二熱側(cè)管路402，該第三熱交換器50設(shè)有第三冷側(cè)管501路及第三熱側(cè)管路502，該第四熱交換器60設(shè)有第四冷側(cè)管路601及第四熱側(cè)管路602，而該除塵設(shè)備80為袋式除塵器、電袋式復(fù)合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈沖除塵器、脈沖袋式除塵器、脈沖濾芯除塵器、脈沖噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風(fēng)分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負(fù)壓反吹濾袋除塵器、低壓長(zhǎng)袋脈沖除塵器、臥式靜電除塵器、無(wú)動(dòng)力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風(fēng)除塵器或防爆除塵器的其中一種，另外該直燃式焚燒爐(TO)10設(shè)有一進(jìn)氣口11及一出氣口12，且該直燃式焚燒爐(TO)10內(nèi)設(shè)有爐頭及爐膛，使該有機(jī)廢氣由該進(jìn)氣口11進(jìn)入該爐頭進(jìn)行燃燒，再使經(jīng)過(guò)燃燒后的氣體穿過(guò)該爐膛并由該出氣口12排出。[0079] 而該吸附轉(zhuǎn)輪20為沸石濃縮轉(zhuǎn)輪或是其他材質(zhì)的濃縮轉(zhuǎn)輪，且該吸附轉(zhuǎn)輪20內(nèi)設(shè)有吸附區(qū)201、冷卻區(qū)202及脫附區(qū)203，該吸附轉(zhuǎn)輪20設(shè)有一廢氣進(jìn)氣管路21、一凈氣排放管路22、一冷卻氣進(jìn)氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一熱氣輸送管路25及一脫附濃縮氣體管路26(如圖6至圖8所示)，而該廢氣進(jìn)氣管路21的另一端連接至該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201的一側(cè)，以使該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201吸附該廢氣進(jìn)氣管路21內(nèi)的廢氣，且該凈氣排放管路22的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201的另一側(cè)連接，使該廢氣經(jīng)該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201凈化后再由該凈氣排放管路22輸送。

[0080] 另外該冷卻氣進(jìn)氣管路23的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202的一側(cè)連接，而該冷卻氣進(jìn)氣管路23有兩種實(shí)施形式，其中第一種實(shí)施形式為該冷卻氣進(jìn)氣管路23供外氣進(jìn)入(如圖6及圖7所示)，而該外氣為新鮮空氣，以將該外氣用輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202內(nèi)提供降溫使用，另外第二種實(shí)施形式該冷卻氣進(jìn)氣管路23設(shè)有一氣體旁通管路231(如圖8所示)，該氣體旁通管路231的一端與該冷卻氣進(jìn)氣管路23連接，而該氣體旁通管路

231的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路21連接，通過(guò)該氣體旁通管路21將部分的廢氣輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202內(nèi)提供降溫使用。

[0081] 另外該冷卻氣輸送管路24的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202的另一側(cè)連接，而該冷卻氣輸送管路24的另一端與該第二熱交換器40的第二冷側(cè)管路401的一端連接，以將該冷卻氣輸送管路24內(nèi)的冷卻氣輸送到該第二熱交換器40內(nèi)進(jìn)行熱交換(如圖6至圖8所示)，另外該第二熱交換器40的第二冷側(cè)管路401的另一端與該熱氣輸送管路25的另一端連接，而該熱氣輸送管路25的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203的另一側(cè)連接，且該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203的一側(cè)與該脫附濃縮氣體管路26的一端連接，使將經(jīng)過(guò)該第二熱交換器40提升的熱氣通過(guò)該熱氣輸送管路25傳輸?shù)皆撐睫D(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203進(jìn)行脫附使用，并將經(jīng)過(guò)高溫脫附下來(lái)的脫附濃縮氣體通過(guò)該脫附濃縮氣體管路26傳輸運(yùn)送。

[0082] 另外本發(fā)明第一種實(shí)施方式中的該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有比例風(fēng)門，而該比例風(fēng)門設(shè)有兩種實(shí)施形式，其中第一種實(shí)施形式為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有一連通管路27，且該連通管路27設(shè)有一連通控制閥門271，而該熱氣輸送管路25設(shè)有一熱氣控制閥門251(如圖7所示)，并通過(guò)該連通控制閥門

271及該熱氣控制閥門251形成比例風(fēng)門，另外第二實(shí)施形式為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有一連通管路27，且該連通管路27設(shè)有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24設(shè)有一冷卻氣控制閥門241(如圖8所示)，并通過(guò)該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241形成比例風(fēng)門，借此，不管是通過(guò)該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門

251的設(shè)計(jì)的比例風(fēng)門或是通過(guò)該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241的設(shè)計(jì)的比例風(fēng)門，都能調(diào)整控制風(fēng)力的大小，使該熱氣輸送管路25內(nèi)的溫度保持一定高溫提供給該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203使用。

[0083] 此外，該第四熱交換器60連接有一第四脫附濃縮氣體輸送管路61及一第四熱氣回收管路62，該第四冷側(cè)管路601的一端與該脫附濃縮氣體管路26的另一端連接，該第四脫附濃縮氣體輸送管路61的一端與該第四冷側(cè)管路601的另一端連接(如圖6至圖8所示)，該第四脫附濃縮氣體輸送管路61的另一端與該第三熱交換器50的第三冷側(cè)管路501的一端連接，該第四熱氣回收管路62的一端與該第四熱交換器60的第四熱側(cè)管路602的一端連接，該第四熱氣回收管路62的另一端與該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502的另一端連接。借此，使該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203脫附下來(lái)的脫附濃縮氣體通過(guò)該脫附濃縮氣體管路26傳輸?shù)皆摰谒臒峤粨Q器60的第四冷側(cè)管路601進(jìn)行熱交換，并再通過(guò)該第四脫附濃縮氣體輸送管路61傳輸?shù)皆摰谌裏峤粨Q器50的第三冷側(cè)管路501進(jìn)行熱交換。[0084] 另外該第三熱交換器50連接有一第三脫附濃縮氣體輸送管路51及一第三熱氣回收管路52，該第三脫附濃縮氣體輸送管路51的一端與該第三熱交換器50的第三冷側(cè)管路501的另一端連接(如圖6至圖8所示)，該第三脫附濃縮氣體輸送管路51的另一端與該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路301的一端連接，該第三熱氣回收管路52的一端與該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502的一端連接，該第三熱氣回收管路52的另一端與該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402的另一端連接。借此，將該脫附濃縮氣體再通過(guò)該第三脫附濃縮氣體輸送管路51傳輸?shù)皆摰谝粺峤粨Q器30的第一冷側(cè)管路301進(jìn)行熱交換。

[0085] 另外該第一熱交換器30連接有一第一熱氣回收管路31、一第一焚燒熱氣回收管路32及一第一脫附濃縮氣體輸送管路33，其中該第一焚燒熱氣回收管路32的一端與該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302的一端連接，該第一焚燒熱氣回收管路32的另一端與該直燃式焚燒爐10的出氣口11連接(如圖6至圖8所示)，該第一熱氣回收管路31的一端與該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302的另一端連接，該第一熱氣回收管路31的另一端與該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402的一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路33的一端與該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路301的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路33的另一端與該直燃式焚燒爐10的進(jìn)氣口11連接。借此，使經(jīng)過(guò)該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路

301輸送的脫附濃縮氣體通過(guò)該第一脫附濃縮氣體輸送管路33輸送到該直燃式焚燒爐10的進(jìn)氣口11，再將經(jīng)過(guò)該直燃式焚燒爐10燃燒后的氣體由該出氣口12通過(guò)該第一焚燒熱氣回收管路32輸送到該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302內(nèi)進(jìn)行熱回收，并經(jīng)過(guò)該第一熱氣回收管路31輸送到該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402內(nèi)進(jìn)行熱回收，且再經(jīng)過(guò)該第三熱氣回收管路52輸送到該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502內(nèi)進(jìn)行熱回收，再經(jīng)過(guò)該第四熱氣回收管路62輸送到該第四熱交換器60的第四熱側(cè)管路602內(nèi)進(jìn)行熱回收。

[0086] 另外該冷卻器70內(nèi)設(shè)有冷卻水管路71，以一進(jìn)一出的方式將流經(jīng)該冷卻器70的高溫?zé)釟膺M(jìn)行降溫，且該冷卻器70為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器的其中一種，而該冷卻器連接有一冷卻熱氣回收管路72，該冷卻熱氣回收管路72與該第四熱交換器60的第四熱側(cè)管路602的另一端連接(如圖6至圖8所示)。而該除塵設(shè)備80連接有一除塵進(jìn)氣管路81及一除塵出氣管路82，該除塵進(jìn)氣管路81的一端與該除塵設(shè)備80連接，該除塵進(jìn)氣管路81的另一端與該冷卻器70連接，該除塵出氣管路82的一端與該除塵設(shè)備80連接，該除塵出氣管路82的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路21連接。另外該除塵出氣管路82設(shè)有一風(fēng)機(jī)821，以將該除塵出氣管路82內(nèi)的氣體推向該廢氣進(jìn)氣管路21內(nèi)。借此，將經(jīng)過(guò)該直燃式焚燒爐10燃燒后的氣體由該第四熱交換器60的第四熱側(cè)管路602通過(guò)該冷卻熱氣回收管路72輸送到該冷卻器70進(jìn)行熱交換，而該冷卻器70再通過(guò)該除塵進(jìn)氣管路81輸送到該除塵設(shè)備80內(nèi)以進(jìn)行粉塵或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分離，最后再將由該除塵設(shè)備80輸出的氣體輸送到該廢氣進(jìn)氣管路21，使燃燒后的氣體進(jìn)入該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201循環(huán)利用，而不經(jīng)過(guò)該煙囪90進(jìn)行排放，使該煙囪90的排放量降低，并使有機(jī)廢氣的處理效率提升。[0087] 最后，該凈氣排放管路22的另一端連接一煙囪90，使經(jīng)過(guò)該凈氣排放管路22排出凈化后氣體輸送到煙囪90進(jìn)行排放(如圖6至圖8所示)。另外該凈氣排放管路22設(shè)有一風(fēng)機(jī)221，以將該凈氣排放管路22內(nèi)的氣體推向該煙囪90。

[0088] 而本發(fā)明第二種實(shí)施方式的直燃回流熱回收有機(jī)廢氣處理方法，其主要用于有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，且包括有一直燃式焚燒爐10、一吸附轉(zhuǎn)輪20、一第一熱交換器30、一第二熱交換器40、一第三熱交換器50、第四熱交換器60、一冷卻器70及一除塵設(shè)備80(如圖6至圖8所示)，該吸附轉(zhuǎn)輪20設(shè)有吸附區(qū)201、脫附區(qū)203及冷卻區(qū)202，該吸附轉(zhuǎn)輪20連接有一廢氣進(jìn)氣管路21、一凈氣排放管路22、一冷卻氣進(jìn)氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一熱氣輸送管路25及一脫附濃縮氣體管路26，該第一熱交換器30設(shè)有第一冷側(cè)管路301及第一熱側(cè)管路302，該第二熱交換器40設(shè)有第二冷側(cè)管路401及第二熱側(cè)管路402，該第三熱交換器50設(shè)有第三冷側(cè)管路501及第三熱側(cè)管路502，該第四熱交換器60設(shè)有第四冷側(cè)管路601及第四熱側(cè)管路602。[0089] 而該除塵設(shè)備80為袋式除塵器、電袋式復(fù)合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈沖除塵器、脈沖袋式除塵器、脈沖濾芯除塵器、脈沖噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風(fēng)分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負(fù)壓反吹濾袋除塵器、低壓長(zhǎng)袋脈沖除塵器、臥式靜電除塵器、無(wú)動(dòng)力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風(fēng)除塵器或防爆除塵器的其中一種，另外該直燃式焚燒爐(TO)10設(shè)有一進(jìn)氣口11及一出氣口12，且該直燃式焚燒爐(TO)10內(nèi)設(shè)有爐頭及爐膛，使該有機(jī)廢氣由該進(jìn)氣口11進(jìn)入該爐頭進(jìn)行燃燒，再使經(jīng)過(guò)燃燒后的氣體穿過(guò)該爐膛并由該出氣口12排出。而該處理方法的主要步驟(如圖5所示)包括：步驟S200吸附區(qū)吸附：將廢氣通過(guò)該廢氣進(jìn)氣管路21的另一端送入該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201的一側(cè)進(jìn)行吸附，再將吸附后的氣體通過(guò)該凈氣排放管路22的另一端進(jìn)行輸送。而完成上述步驟S100后即進(jìn)行下一步驟S210。[0090] 其中上述的步驟S200中該凈氣排放管路22的另一端連接一煙囪90，使經(jīng)過(guò)該凈氣排放管路22排出凈化后氣體輸送到煙囪90進(jìn)行排放(如圖6至圖8所示)。另外該凈氣排放管路22設(shè)有一風(fēng)機(jī)221，以將該凈氣排放管路22內(nèi)的氣體推向該煙囪90。[0091] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S210冷卻區(qū)冷卻：通過(guò)該冷卻氣進(jìn)氣管路23的另一端輸送冷卻氣至該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202進(jìn)行冷卻，再通過(guò)該冷卻氣輸送管路24的另一端將經(jīng)過(guò)冷卻區(qū)2的冷卻氣輸送到該第二熱交換器40的第二冷側(cè)管路401的一端。而完成上述步驟S110后即進(jìn)行下一步驟S220。[0092] 其中上述的步驟S210中該冷卻氣進(jìn)氣管路23的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202的一側(cè)連接，而該冷卻氣進(jìn)氣管路23有兩種實(shí)施形式，其中第一種實(shí)施形式為該冷卻氣進(jìn)氣管路23供外氣進(jìn)入(如圖6及圖7所示)，而該外氣為新鮮空氣，以將該外氣用輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202內(nèi)提供降溫使用，另外第二種實(shí)施形式為該冷卻氣進(jìn)氣管路23設(shè)有一氣體旁通管路231，該氣體旁通管路231的一端與該冷卻氣進(jìn)氣管路23連接，而該氣體旁通管路231的另一端與該廢氣進(jìn)氣管路21連接，通過(guò)該氣體旁通管路231將部分的廢氣輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的冷卻區(qū)202內(nèi)提供降溫使用。[0093] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S220脫附區(qū)脫附：通過(guò)與第二熱交換器40的第二冷側(cè)管路401的另一端連接的熱氣輸送管路25將熱氣體輸送到該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203進(jìn)行脫附，再通過(guò)該脫附濃縮氣體管路26的另一端將脫附濃縮氣體輸送到第四熱交換器60的第四冷側(cè)管路601的一端。而完成上述步驟S220后即進(jìn)行下一步驟S230。[0094] 其中該上述的步驟S220中該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有比例風(fēng)門，而該比例風(fēng)門設(shè)有兩種實(shí)施形式，其中第一種實(shí)施形式為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有一連通管路27，且該連通管路27設(shè)有一連通控制閥門271，而該熱氣輸送管路25設(shè)有一熱氣控制閥門251(如圖7所示)，并通過(guò)該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251形成比例風(fēng)門，另外第二實(shí)施形式為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設(shè)有一連通管路27，且該連通管路27設(shè)有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24設(shè)有一冷卻氣控制閥門241(如圖8所示)，并通過(guò)該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241形成比例風(fēng)門，借此，不管是通過(guò)該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251的設(shè)計(jì)的比例風(fēng)門或是通過(guò)該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241的設(shè)計(jì)的比例風(fēng)門，都能調(diào)整控制風(fēng)力的大小，使該熱氣輸送管路25內(nèi)的溫度保持一定高溫提供給該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203使用。[0095] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S230脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再通過(guò)該第四熱交換器60的第四冷側(cè)管路601的另一端連接的第四脫附濃縮氣體輸送管路61輸送到該第三熱交換器50的第三冷側(cè)管路501的一端，并再通過(guò)該第三熱交換器50的第三冷側(cè)管路501的另一端連接的第三脫附濃縮氣體輸送管路51輸送到該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路301的一端，且再通過(guò)該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路301的另一端連接的第一脫附濃縮氣體輸送管路33輸送到該直燃式焚燒爐10的進(jìn)氣口11。而完成上述步驟S230后即進(jìn)行下一步驟S240。

[0096] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S240焚燒氣體回收輸送：將經(jīng)過(guò)焚燒后的氣體通過(guò)與該直燃式焚燒爐10的出氣口12連接的第一焚燒熱氣回收管路32輸送到該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302的一端，再由該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302的另一端連接的第一熱氣回收管路31輸送到該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402的一端。而完成上述步驟S240后即進(jìn)行下一步驟S250。[0097] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S150焚燒氣體再輸送：將輸送到該第二熱交器40的第二熱側(cè)管路402的焚燒后的氣體，再經(jīng)過(guò)與該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402的另一端連接的第三熱氣回收管路52輸送到該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502的一端，并再通過(guò)與該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502的另一端連接的第四熱氣回收管路62輸送到該第四熱交換器60的第四熱側(cè)管路602的一端，且再通過(guò)與該第四熱交換器60的第四熱側(cè)管路602的另一端連接的該冷卻熱氣回收管路72輸送到該冷卻器70。而完成上述步驟S250后即進(jìn)行下一步驟S260。

[0098] 另外，下一步進(jìn)行的步驟S260經(jīng)過(guò)除塵設(shè)備回收：將輸送到該冷卻器70的焚燒后的氣體，再經(jīng)過(guò)與該冷卻器70連接的除塵進(jìn)氣管路81輸送到該除塵設(shè)備80，并再通過(guò)該除塵設(shè)備80連接的除塵出氣管路82輸送到該廢氣進(jìn)氣管路21的一端。其中該除塵出氣管路82設(shè)有一風(fēng)機(jī)821，以將該除塵出氣管路82內(nèi)的氣體推向該廢氣進(jìn)氣管路21內(nèi)。[0099] 借此，使該吸附轉(zhuǎn)輪20的脫附區(qū)203脫附下來(lái)的脫附濃縮氣體通過(guò)該脫附濃縮氣體管路26傳輸?shù)皆摰谒臒峤粨Q器60的第四冷側(cè)管路601進(jìn)行熱交換(如圖6至圖8所示)，再通過(guò)該第四脫附濃縮氣體輸送管路61傳輸?shù)皆摰谌裏峤粨Q器50的第冷側(cè)管路501進(jìn)行熱交換，并再通過(guò)該第三脫附濃縮氣體輸送管路51傳輸?shù)皆摰谝粺峤粨Q器30的第一冷側(cè)管路601進(jìn)行熱交換。再使經(jīng)過(guò)該第一熱交換器30的第一冷側(cè)管路601輸送的脫附濃縮氣體通過(guò)該第一脫附濃縮氣體輸送管路33輸送到該直燃式焚燒爐10的進(jìn)氣口11，再將經(jīng)過(guò)該直燃式焚燒爐10燃燒后的氣體由該出氣口12通過(guò)該第一焚燒熱氣回收管路32輸送到該第一熱交換器30的第一熱側(cè)管路302內(nèi)進(jìn)行熱回收，并經(jīng)過(guò)該第一熱氣回收管路31輸送到該第二熱交換器40的第二熱側(cè)管路402內(nèi)進(jìn)行熱回收，且再經(jīng)過(guò)該第三熱氣回收管路52輸送到該第三熱交換器50的第三熱側(cè)管路502內(nèi)進(jìn)行熱回收，并再經(jīng)過(guò)該第四熱氣回收管路62輸送到該第四熱交換器60的第四熱側(cè)管路602內(nèi)進(jìn)行熱回收。另外由該第四熱交換器60的第四熱側(cè)管路602通過(guò)該冷卻熱氣回收管路72輸送到該冷卻器70進(jìn)行熱交換，且該冷卻器70為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器的其中一種，而該冷卻器70再通過(guò)該除塵進(jìn)氣管路81輸送到該除塵設(shè)備80內(nèi)以進(jìn)行粉塵或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分離，最后再將由該除塵設(shè)備80輸出的氣體輸送到該廢氣進(jìn)氣管路21，使燃燒后的氣體進(jìn)入該吸附轉(zhuǎn)輪20的吸附區(qū)201循環(huán)利用，而不經(jīng)過(guò)該煙囪90進(jìn)行排放，使該煙囪90的排放量降低，并使有機(jī)廢氣的處理效率提升。

[0100] 以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。