權(quán)利要求書(shū)： 1.一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片，其特征在于：包括墊片(2)；

所述墊片(2)上對(duì)稱地設(shè)有外殼(1)，外殼(1)一側(cè)對(duì)稱地開(kāi)設(shè)有圓孔，便于裝置整體的固定；

所述外殼(1)中安裝有具有彈性緩沖結(jié)構(gòu)的減振機(jī)構(gòu)(4)，減振機(jī)構(gòu)(4)間卡持有硅片基體(3)，防止硅片基體(3)在高頻振動(dòng)的工作環(huán)境中產(chǎn)生摩擦受損。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片，其特征在于：所述減振機(jī)構(gòu)(4)包括水平緩沖組件(41)，墊片(2)頂部邊沿上對(duì)稱地固定有水平緩沖組件(41)，硅片基體(3)架設(shè)在水平緩沖組件(41)上，墊片(2)上還對(duì)稱地固定有豎直緩沖組件(42)，硅片基體(3)卡持在豎直緩沖組件(42)間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片，其特征在于：所述水平緩沖組件(41)包括托板(411)，墊片(2)上對(duì)稱地固定有托板(411)，托板(411)一側(cè)通過(guò)對(duì)稱設(shè)置的第一彈簧(412)與外殼(1)彈性連接，托板(411)遠(yuǎn)離硅片基體(3)一側(cè)固定有限位板(413)，限位板(413)與外殼(1)滑動(dòng)插接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片，其特征在于：所述豎直緩沖組件(42)包括夾板(421)，墊片(2)頂部對(duì)稱地固定有夾板(421)，所述外殼(1)頂部對(duì)稱地滑動(dòng)安裝有柱頭(422)，柱頭(422)底端固定有卡塊(423)，卡塊(423)頂部與外殼(1)間安裝有第二彈簧(424)，卡塊(423)與夾板(421)配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片，其特征在于：所述卡塊(423)呈正十字狀，卡塊(423)與夾板(421)頂部開(kāi)設(shè)的十字槽插接。

說(shuō)明書(shū)： 一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及單晶硅加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片。背景技術(shù)[0002] 單晶硅片即硅的單晶體，是一種具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，不同的方向具有不同的性質(zhì)，是一種良好的半導(dǎo)材料，用于制造半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池等，用高純度的

多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成。

[0003] 單晶硅片在實(shí)際使用時(shí)往往會(huì)靠近電機(jī)、風(fēng)扇等會(huì)發(fā)出高頻振動(dòng)的裝置，而由于現(xiàn)有的單晶硅片往往缺少起到減震作用的緩沖結(jié)構(gòu)，在承受高頻振動(dòng)時(shí)會(huì)與硬質(zhì)的外部殼

體部分產(chǎn)生摩擦，長(zhǎng)期摩擦后容易造成單晶硅片磨損程度較大，無(wú)法發(fā)揮正常作用，降低使

用壽命，因此需要做出相應(yīng)改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

[0004] 本實(shí)用新型的目的在于提供一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

[0005] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片，包括墊片；

[0006] 所述墊片上對(duì)稱地設(shè)有外殼，外殼一側(cè)對(duì)稱地開(kāi)設(shè)有圓孔，便于裝置整體的固定；[0007] 所述外殼中安裝有具有彈性緩沖結(jié)構(gòu)的減振機(jī)構(gòu)，減振機(jī)構(gòu)間卡持有硅片基體，防止硅片基體在高頻振動(dòng)的工作環(huán)境中產(chǎn)生摩擦受損。

[0008] 優(yōu)選的，所述減振機(jī)構(gòu)包括水平緩沖組件，墊片頂部邊沿上對(duì)稱地固定有水平緩沖組件，硅片基體架設(shè)在水平緩沖組件上，墊片上還對(duì)稱地固定有豎直緩沖組件，硅片基體

卡持在豎直緩沖組件間。

[0009] 優(yōu)選的，所述水平緩沖組件包括托板，墊片上對(duì)稱地固定有托板，托板一側(cè)通過(guò)對(duì)稱設(shè)置的第一彈簧與外殼彈性連接，托板遠(yuǎn)離硅片基體一側(cè)固定有限位板，限位板與外殼

滑動(dòng)插接。

[0010] 優(yōu)選的，所述豎直緩沖組件包括夾板，墊片頂部對(duì)稱地固定有夾板，所述外殼頂部對(duì)稱地滑動(dòng)安裝有柱頭，柱頭底端固定有卡塊，卡塊頂部與外殼間安裝有第二彈簧，卡塊與

夾板配合。

[0011] 優(yōu)選的，所述卡塊呈正十字狀，卡塊與夾板頂部開(kāi)設(shè)的十字槽插接。[0012] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：[0013] 本實(shí)用新型中的減振機(jī)構(gòu)可為硅片基體提供足夠的緩沖來(lái)避免裝置附近安裝的電機(jī)、風(fēng)扇產(chǎn)生的高頻振動(dòng)干擾，其中，來(lái)自橫向的振動(dòng)沖擊會(huì)驅(qū)使托板左右晃動(dòng)，利用與

托板連接的第一彈簧的形變來(lái)抵消沖擊，而限位板與外殼的滑動(dòng)插接則使得托板的晃動(dòng)軌

跡處于同一水平線上，可以實(shí)時(shí)地發(fā)揮作用，避免硅片基體與硬質(zhì)的外殼部分發(fā)生碰撞，另

外，來(lái)自豎向的振動(dòng)沖擊則驅(qū)使墊片與夾板上下晃動(dòng)，通過(guò)第二彈簧的形變來(lái)抵消沖擊，此

時(shí)的硅片基體由于被卡持在夾板中，而在晃動(dòng)過(guò)程中不與硬質(zhì)的外殼部分直接接觸，避免

了磨損的產(chǎn)生，增加了裝置整體的使用壽命。

附圖說(shuō)明[0014] 圖1為本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖；[0015] 圖2為本實(shí)用新型整體分解示意圖；[0016] 圖3為本實(shí)用新型整體內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；[0017] 圖4為本實(shí)用新型減振機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；[0018] 圖5為本實(shí)用新型豎直緩沖組件連接細(xì)節(jié)示意圖。[0019] 圖中：1、外殼；2、墊片；3、硅片基體；4、減振機(jī)構(gòu)；41、水平緩沖組件；411、托板；412、第一彈簧；413、限位板；42、豎直緩沖組件；421、夾板；422、柱頭；423、卡塊；424、第二彈

簧。

具體實(shí)施方式[0020] 下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的

實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下

所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

[0021] 實(shí)施例一[0022] 請(qǐng)參閱圖1?2，圖示中一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片，包括墊片2，墊片2上對(duì)稱地設(shè)有外殼1，外殼1一側(cè)對(duì)稱地開(kāi)設(shè)有圓孔，便于裝置整體的固定，外殼1中安裝有具有彈性緩

沖結(jié)構(gòu)的減振機(jī)構(gòu)4，減振機(jī)構(gòu)4間卡持有硅片基體3，防止硅片基體3在高頻振動(dòng)的工作環(huán)

境中產(chǎn)生摩擦受損。

[0023] 實(shí)施例二[0024] 減振作用的實(shí)施[0025] 請(qǐng)參閱圖1?5，圖示中一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片，包括墊片2，墊片2上對(duì)稱地設(shè)有外殼1，外殼1一側(cè)對(duì)稱地開(kāi)設(shè)有圓孔，便于裝置整體的固定，外殼1中安裝有具有彈性緩

沖結(jié)構(gòu)的減振機(jī)構(gòu)4，減振機(jī)構(gòu)4間卡持有硅片基體3，防止硅片基體3在高頻振動(dòng)的工作環(huán)

境中產(chǎn)生摩擦受損，減振機(jī)構(gòu)4包括水平緩沖組件41，墊片2頂部邊沿上對(duì)稱地固定有水平

緩沖組件41，硅片基體3架設(shè)在水平緩沖組件41上，墊片2上還對(duì)稱地固定有豎直緩沖組件

42，硅片基體3卡持在豎直緩沖組件42間，水平緩沖組件41包括托板411，墊片2上對(duì)稱地固

定有托板411，托板411一側(cè)通過(guò)對(duì)稱設(shè)置的第一彈簧412與外殼1彈性連接，托板411遠(yuǎn)離硅

片基體3一側(cè)固定有限位板413，限位板413與外殼1滑動(dòng)插接，豎直緩沖組件42包括夾板

421，墊片2頂部對(duì)稱地固定有夾板421，外殼1頂部對(duì)稱地滑動(dòng)安裝有柱頭422，柱頭422底端

固定有卡塊423，卡塊423頂部與外殼1間安裝有第二彈簧424，卡塊423與夾板421配合，卡塊

423呈正十字狀，卡塊423與夾板421頂部開(kāi)設(shè)的十字槽插接。

[0026] 在本實(shí)用新型所提出的一種耐高頻振動(dòng)的單晶硅片中，減振機(jī)構(gòu)4可為硅片基體3提供足夠的緩沖來(lái)避免裝置附近安裝的電機(jī)、風(fēng)扇產(chǎn)生的高頻振動(dòng)干擾，其中，來(lái)自橫向的

振動(dòng)沖擊會(huì)驅(qū)使托板411左右晃動(dòng)，利用與托板411連接的第一彈簧412的形變來(lái)抵消沖擊，

而限位板413與外殼1的滑動(dòng)插接則使得托板411的晃動(dòng)軌跡處于同一水平線上，可以實(shí)時(shí)

地發(fā)揮作用，避免硅片基體3與硬質(zhì)的外殼1部分發(fā)生碰撞，另外，來(lái)自豎向的振動(dòng)沖擊則驅(qū)

使墊片2與夾板421上下晃動(dòng)，通過(guò)第二彈簧424的形變來(lái)抵消沖擊，此時(shí)的硅片基體3由于

被卡持在夾板421中，而在晃動(dòng)過(guò)程中不與硬質(zhì)的外殼1部分直接接觸，避免了磨損的產(chǎn)生，

另外正十字狀的卡塊423與夾板421頂部開(kāi)設(shè)的十字槽的插接配合起到了一定的限位作用，

避免在承受高頻振動(dòng)時(shí)墊片2與夾板421產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)。

[0027] 工作原理：減振機(jī)構(gòu)4可為硅片基體3提供足夠的緩沖來(lái)避免裝置附近安裝的電機(jī)、風(fēng)扇產(chǎn)生的高頻振動(dòng)干擾，其中，來(lái)自橫向的振動(dòng)沖擊會(huì)驅(qū)使托板411左右晃動(dòng)，利用與

托板411連接的第一彈簧412的形變來(lái)抵消沖擊，另外，來(lái)自豎向的振動(dòng)沖擊則驅(qū)使墊片2與

夾板421上下晃動(dòng)，通過(guò)第二彈簧424的形變來(lái)抵消沖擊。

[0028] 需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存

在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包含”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋

非排他性的包含，從而使得包含一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不僅包含那些要

素，而且還包含沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包含為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備

所固有的要素。

[0029] 盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修

改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。