本發(fā)明公開了一種利用電場效應(yīng)增強加工區(qū)域酸堿度的鍺平面鏡化學拋光方法,制造高介電常數(shù)真空吸盤和高介電常數(shù)拋光盤,在拋光盤和基盤的非工作端面涂上高溫銀漿,接上電極,絕緣處理;將鍺平面鏡真空吸附在多孔陶瓷基盤上,采用化學拋光液進行拋光加工。本方法的拋光原理為使用高介電常數(shù)陶瓷拋光盤,在拋光盤和真空吸附陶瓷基盤接上電極后,在拋光區(qū)域產(chǎn)生強電場,氫離子或氫氧根離子向工件表面移動,增強了工件表面酸堿度,提高了拋光液對工件表面的腐蝕性,在液動壓流體的剪切作用下,對工件表面進行化學非接觸拋光。本方法通過電場實現(xiàn)對工件表面的PH值可控,化學非接觸拋光提高了工件表面質(zhì)量,避免表面磨損。
聲明:
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