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單晶爐排氣管道

632   編輯:中冶有色技術網(wǎng)   來源:遼寧博芯科半導體材料有限公司  
2024-01-16 15:16:41
權利要求書: 1.一種單晶爐排氣管道,包括固定連接的連接管(1)和豎直管(2),其特征在于:所述連接管(1)和豎直管(2)的側壁分別開設有第一通孔(5)和第二通孔(6),所述連接管(1)和豎直管(2)的外側壁分別裝配有第一保護組件(3)和第二保護組件(4),所述豎直管(2)的底端通過固定螺栓(7)固定裝配有封蓋(8),所述豎直管(2)的頂端通過固定螺絲(10)固定裝配有端蓋(9)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶爐排氣管道,其特征在于:所述第一保護組件(3)包括第一安裝座(31),所述第一安裝座(31)一體成型于連接管(1)的側壁,所述第一安裝座(31)內(nèi)轉動連接有第一保護罩(32),所述第一保護罩(32)的側壁均勻開設有第一連接孔(33),所述第一保護罩(32)的兩端分別開設有第一卡槽(34),所述第一安裝座(31)的頂部插接有貫穿至第一卡槽(34)內(nèi)的第一卡銷(35),所述第一保護罩(32)的側壁固定連接有第一固定板(36)。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶爐排氣管道,其特征在于:所述第二保護組件(4)包括第二安裝座(41),所述第二安裝座(41)一體成型于豎直管(2)的側壁,所述第二安裝座(41)內(nèi)轉動連接有第二保護罩(42),所述第二保護罩(42)的側壁開設有第二連接孔(43),所述第二保護罩(42)的頂部開設有第二卡槽(44),所述第二安裝座(41)的頂部插接有貫穿至第二卡槽(44)內(nèi)的第二卡銷(45),所述第二保護罩(42)的側壁固定連接有第二固定板(46)。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶爐排氣管道,其特征在于:所述第一通孔(5)均勻開設在連接管(1)的頂部側壁,所述第二通孔(6)呈軸對稱均勻開設在豎直管(2)的側壁。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶爐排氣管道,其特征在于:所述端蓋(9)包括底座(91),所述底座(91)通過固定螺絲(10)與豎直管(2)的頂端相固定連接,所述底座(91)的頂部通過支撐軸(92)固定連接有頂部固定座(93),所述頂部固定座(93)的頂部裝配有頂部蓋體(94),所述頂部蓋體(94)的底部固定連接有貫穿至支撐軸(92)內(nèi)腔的伸縮軸(95)。

說明書: 一種單晶爐排氣管道技術領域[0001] 本實用新型涉及單晶爐技術領域,具體涉及一種單晶爐排氣管道。背景技術[0002] 單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。而排氣管道又是單晶爐內(nèi)的重要組成部分,現(xiàn)有的排氣管道在單晶爐加工完成后需要進行清潔處理,而單晶爐在加工完成后排氣管道內(nèi)的溫度較高,導致一些殘留的化學物質(zhì)形成易爆炸的氣體,若是直接對排氣管道內(nèi)進行清潔處理,很容易發(fā)生意外,對操作人員的人身安全造成危害。為此,我們提出一種單晶爐排氣管道。實用新型內(nèi)容

[0003] 本實用新型的目的在于提供一種單晶爐排氣管道,以解決上述背景技術中提出的問題。[0004] 為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種單晶爐排氣管道,包括固定連接的連接管和豎直管,所述連接管和豎直管的側壁分別開設有第一通孔和第二通孔,所述連接管和豎直管的外側壁分別裝配有第一保護組件和第二保護組件,所述豎直管的底端通過固定螺栓固定裝配有封蓋,所述豎直管的頂端通過固定螺絲固定裝配有端蓋。[0005] 優(yōu)選的,所述第一保護組件包括第一安裝座,所述第一安裝座一體成型于連接管的側壁,所述第一安裝座內(nèi)轉動連接有第一保護罩,所述第一保護罩的側壁均勻開設有第一連接孔,所述第一保護罩的兩端分別開設有第一卡槽,所述第一安裝座的頂部插接有貫穿至第一卡槽內(nèi)的第一卡銷,所述第一保護罩的側壁固定連接有第一固定板。[0006] 優(yōu)選的,所述第二保護組件包括第二安裝座,所述第二安裝座一體成型于豎直管的側壁,所述第二安裝座內(nèi)轉動連接有第二保護罩,所述第二保護罩的側壁開設有第二連接孔,所述第二保護罩的頂部開設有第二卡槽,所述第二安裝座的頂部插接有貫穿至第二卡槽內(nèi)的第二卡銷,所述第二保護罩的側壁固定連接有第二固定板。[0007] 優(yōu)選的,所述第一通孔均勻開設在連接管的頂部側壁,所述第二通孔呈軸對稱均勻開設在豎直管的側壁。[0008] 優(yōu)選的,所述端蓋包括底座,所述底座通過固定螺絲與豎直管的頂端相固定連接,所述底座的頂部通過支撐軸固定連接有頂部固定座,所述頂部固定座的頂部裝配有頂部蓋體,所述頂部蓋體的底部固定連接有貫穿至支撐軸內(nèi)腔的伸縮軸。[0009] 與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益效果是:一種單晶爐排氣管道,將連接管與豎直管組成排氣管道,分別在連接管和豎直管的側壁開設有第一通孔和第二通孔,在單晶爐進行使用時,通過第一保護組件和第二保護組件增加連接管與豎直管的整體強度的同時,第一保護組件和第二保護組件也可以控制第一通孔和第二通孔的開啟與關閉,單晶爐使用完成后通過開啟第一通孔和第二通孔,使外部的空氣進入到連接管與豎直管內(nèi),對其內(nèi)部的易爆炸氣體進行氧化,便于后續(xù)操作人員對連接管與豎直管內(nèi)腔的清潔,減少安全隱患。附圖說明[0010] 圖1為本實用新型的立體圖。[0011] 圖2為本實用新型第一通孔和第二通孔封閉的結構示意圖。[0012] 圖3為本實用新型第一通孔和第二通孔開啟的結構示意圖。[0013] 圖4為圖3中的a處細節(jié)圖。[0014] 圖5為圖3中的b處細節(jié)圖。[0015] 圖中:1、連接管,2、豎直管,3、第一保護組件,31、第一安裝座,32、第一保護罩,33、第一連接孔,34、第一卡槽,35、第一卡銷,36、第一固定板,4、第二保護組件,41、第二安裝座,42、第二保護罩,43、第二連接孔,44、第二卡槽,45、第二卡銷,46、第二固定板,5、第一通孔,6、第二通孔,7、固定螺栓,8、封蓋,9、端蓋,91、底座,92、支撐軸,93、頂部固定座,94、頂部蓋體,95、伸縮軸,10、固定螺絲。具體實施方式[0016] 下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。[0017] 請參閱圖1、圖2、圖3、圖4和圖5,本實用新型提供一種技術方案:一種單晶爐排氣管道,包括連接管1和豎直管2,連接管1與豎直管2相互連通,連接管1和豎直管2分別裝配有第一保護組件3和第二保護組件4,通過設置第一保護組件3和第二保護組件4加強連接管1和豎直管2的整體強度,加強連接管1和豎直管2在使用過程中的穩(wěn)定性。[0018] 連接管1的頂部側壁均勻開設有第一通孔5,豎直管2的側壁呈左、右對稱開設有第二通孔6,通過第一保護組件3和第二保護組件4分別對第一通孔5和第二通孔6的開啟與關閉進行控制,在單晶爐使用的過程中,第一保護組件3和第二保護組件4分別對第一通孔5和第二通孔6進行封閉,保證其整體的密閉性,在單晶爐使用完成后,由于連接管1與豎直管2所組成的排氣管內(nèi)的溫度較高,其內(nèi)部還會殘留例如一氧化硅、磷等氣態(tài)物質(zhì),若是直接對連接管1和豎直管2進行清理,非常容易發(fā)生爆炸,對操作人員造成危害,故在清理前調(diào)節(jié)第一保護組件3和第二保護組件4,分別使第一通孔5和第二通孔6開啟,外部的空氣緩慢進入到連接管1和豎直管2內(nèi)與其內(nèi)部的易燃氣體發(fā)生氧化,便于操作人員后續(xù)對連接管1和豎直管2內(nèi)的清潔。[0019] 第一保護組件3包括第一安裝座31,第一安裝座31一體成型于連接管1的側壁,第一安裝座31呈兩部分設置,在兩部分的第一安裝座31之間轉動連接有第一保護罩32,第一保護罩32的側壁均勻開設有與第一通孔5位置相對應的第一連接孔33,且第一保護罩32的兩端分別開設有呈軸對稱設置的第一卡槽34,第一安裝座31的側壁插接有貫穿至第一卡槽34內(nèi)的第一卡銷35,第一卡銷35的頂部設置有固定環(huán),通過設置固定環(huán)便于對第一卡銷35與第一安裝座31進行連接與拆卸,通過第一卡銷35對第一保護罩32的角度進行固定,控制第一連接孔33與第一通孔5是否連通,第一保護罩32的側壁一體成型有第一固定板36,通過設置第一固定板36便于對第一保護罩32進行轉動。

[0020] 第二保護組件4包括第二安裝座41,第二安裝座41一體成型于豎直管2的外側壁,第二安裝座41同樣呈兩部分設置,兩部分的第二安裝座41呈上、下對稱分布,第二保護罩42轉動連接于第二安裝座41之間,第二保護罩42的側壁開設有呈軸對稱分布的位置與第二通孔6相對應的第二連接孔43,第一保護罩32和第二保護罩42均采用石墨材料制作,具有較強的耐高溫性能,第二連接孔43以及第二通孔6的數(shù)量多于第一連接孔33和第一通孔5的數(shù)量,可以加速對豎直管2以及連接管1內(nèi)的易爆炸氣體的氧化效率,第二保護罩42的頂部以其軸心處均勻分布有四個第二卡槽44,第二安裝座41的頂部呈軸對稱插接有兩個第二卡銷45,第二卡銷45插接至第二卡槽44內(nèi)對第二保護罩42的角度進行固定,第二保護罩42的側壁同樣一體成型有用于進行轉動的第二固定板46。

[0021] 豎直管2的底部通過固定螺栓7固定裝配有封蓋8,封蓋8用于對豎直管2的底部進行封閉,通過對封蓋8的拆卸便于對豎直管2內(nèi)進行清理。[0022] 豎直管2的頂部通過固定螺絲10裝配有端蓋9,端蓋9可以用于氣體的排放,同時端蓋9也可以在單晶爐內(nèi)發(fā)生滲水漏水等異常導致氣壓突然增大時,加大對氣體的排放量,完成泄壓。[0023] 端蓋9包括底座91,底座91用于與豎直管2進行連接固定,底座91的頂部通過支撐軸92固定連接有頂部固定座93,頂部固定座93內(nèi)裝配有頂部蓋體94,頂部蓋體94的底部固定連接有貫穿至支撐軸92內(nèi)腔的伸縮軸95,通過支撐軸92之間的空間進行氣體的流通,在需要對豎直管2和連接管1內(nèi)進行泄壓時,氣壓向上頂出頂部蓋體94,使頂部蓋體94不再對頂部固定座93進行封閉,加大氣體的流量,便于泄壓,端蓋9整體采用防爆鋼材制作,具有較強的防爆性能。[0024] 工作原理:在使用的過程中將本實用新型的連接管1與單晶爐的爐體進行連接,在單晶爐進行生產(chǎn)的過程中,通過連接管1與豎直管2完成氣體的向外排放,生產(chǎn)完畢后,通過爐鉗等工具將第一卡銷35和第二卡銷45分別向上拉起,然后控制第一保護罩32和第二保護罩42轉動,使第一通孔5、第二通孔6分別與第一連接孔33和第二連接孔43相連通,使外部的空氣進入到連接管1和豎直管2內(nèi)對其內(nèi)部的氣體進行氧化,完成對其內(nèi)部的易爆炸氣體的稀釋后,打開底部的封蓋8,對連接管1以及豎直管2的內(nèi)部進行清潔。



聲明:
“單晶爐排氣管道” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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