權利要求書： 1.一種罩式退火爐排氣裝置，包括罩式退火爐(1)，其特征在于：所述罩式退火爐(1)的頂端通過螺栓安裝設置有安裝板(2)，所述安裝板(2)的頂端開設有貫穿口，所述貫穿口的內(nèi)部固定連接有導氣管(3)，所述導氣管(3)的底端延伸至罩式退火爐(1)的內(nèi)部，所述導氣管(3)的內(nèi)部固定連接有限制片(4)，所述限制片(4)的頂端開設有氣口(5)，所述限制片(4)的頂端開設有多個螺紋安裝孔(15)，且多個螺紋安裝孔(15)以氣口(5)的圓心為原點進行圓周排列，多個所述螺紋安裝孔(15)的內(nèi)部均設置有限位桿(6)，多個所述限位桿(6)的頂端設置有安裝盤(7)，所述安裝盤(7)的底端中心處固定連接有伸縮桿(8)，所述伸縮桿(8)的底端固定連接有陶瓷分隔片(9)，所述導氣管(3)的外壁靠近頂部邊緣處套設有過濾箱(11)，所述過濾箱(11)的前后兩側外表面均開設有過濾口，兩個所述過濾口的內(nèi)部均安裝設置有過濾網(wǎng)(12)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述安裝盤(7)的內(nèi)部安裝設置有彈簧(10)，所述彈簧(10)的頂端固定連接于安裝盤(7)的底面。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述陶瓷分隔片(9)的半徑大于氣口(5)的半徑，且陶瓷分隔片(9)設置于氣口(5)的上方。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述安裝盤(7)頂端開設有多個貫穿孔，多個所述貫穿孔均開設于對應的限位桿(6)上方。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：多個所述貫穿孔均貫穿限位桿(6)的底面，多個所述貫穿孔的內(nèi)部均插設有長螺栓，多個所述長螺栓均與對應的螺紋安裝孔(15)螺紋連接。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述導氣管(3)的外壁套設有冷卻箱(13)，所述冷卻箱(13)的一側外表面貫穿設置有出氣管(14)。

說明書： 一種罩式退火爐排氣裝置技術領域[0001] 本實用新型涉及計算機信號接收設備技術領域，更具體地說，涉及一種罩式退火爐排氣裝置。

背景技術[0002] 退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設計的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換

成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復注

入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底，

退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理，退火爐是由專門為

加熱半導體晶片而設計的設備完成的，退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結構，采用纖

維結構，節(jié)電60％。

[0003] 現(xiàn)有的罩式退火爐排氣裝置在使用時，需要用戶手動對排氣口進行操作，從而使其進行排氣或封閉，由于退火爐排出的氣體帶有高溫和雜質(zhì)，會對操作人員造成困擾，同時

退火爐排出的熱氣往往摻雜有大量的機油，貿(mào)然排出會造成空氣污染，不利于節(jié)約和環(huán)保。

實用新型內(nèi)容

[0004] 1.要解決的技術問題[0005] 針對現(xiàn)有技術中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種罩式退火爐排氣裝置，它可以通過陶瓷分隔片的限制和彈簧的運作，使陶瓷分隔片將氣口封閉，使得罩式退火

爐內(nèi)部與外界空氣不再流通，以保障內(nèi)部氣體的成分，避免外界氣體流入造成產(chǎn)品品質(zhì)受

到影響，通過過濾網(wǎng)來對排出的熱氣進行過濾，減少其中的機油和雜質(zhì)。

[0006] 2.技術方案[0007] 為解決上述問題，本實用新型采用如下的技術方案：[0008] 一種罩式退火爐排氣裝置，包括罩式退火爐，所述罩式退火爐的頂端通過螺栓安裝設置有安裝板，所述安裝板的頂端開設有貫穿口，所述貫穿口的內(nèi)部固定連接有導氣管，

所述導氣管的底端延伸至罩式退火爐的內(nèi)部，所述導氣管的內(nèi)部固定連接有限制片，所述

限制片的頂端開設有氣口，所述限制片的頂端開設有多個螺紋安裝孔，且多個螺紋安裝孔

以氣口的圓心為原點進行圓周排列，多個所述螺紋安裝孔的內(nèi)部均設置有限位桿，多個所

述限位桿的頂端設置有安裝盤，所述安裝盤的底端中心處固定連接有伸縮桿，所述伸縮桿

的底端固定連接有陶瓷分隔片，所述導氣管的外壁靠近頂部邊緣處套設有過濾箱，所述過

濾箱的前后兩側外表面均開設有過濾口，兩個所述過濾口的內(nèi)部均安裝設置有過濾網(wǎng)。

[0009] 作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述安裝盤的內(nèi)部安裝設置有彈簧，所述彈簧的頂端固定連接于安裝盤的底面。

[0010] 作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述陶瓷分隔片的半徑大于氣口的半徑，且陶瓷分隔片設置于氣口的上方。

[0011] 作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述安裝盤頂端開設有多個貫穿孔，多個所述貫穿孔均開設于對應的限位桿上方。

[0012] 作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，多個所述貫穿孔均貫穿限位桿的底面，多個所述貫穿孔的內(nèi)部均插設有長螺栓，多個所述長螺栓均與對應的螺紋安裝孔螺紋連接。

[0013] 作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述導氣管的外壁套設有冷卻箱，所述冷卻箱的一側外表面貫穿設置有出氣管。

[0014] 3.有益效果[0015] 相比于現(xiàn)有技術，本實用新型提供了一種罩式退火爐排氣裝置，具有以下有益效果：

[0016] (1)、該罩式退火爐排氣裝置，通過陶瓷分隔片的限制，減少罩式退火爐內(nèi)部的氣壓，從而防止內(nèi)部氣壓過高，通過彈簧通過推動伸縮桿來將陶瓷分隔片向下壓動，使陶瓷分

隔片將氣口封閉，使得罩式退火爐內(nèi)部與外界空氣不再流通，以保障內(nèi)部氣體的成分，避免

外界氣體流入造成產(chǎn)品品質(zhì)受到影響。

[0017] (2)、該罩式退火爐排氣裝置，通過過濾網(wǎng)來對排出的熱氣進行過濾，減少其中的機油和雜質(zhì)，同時熱氣通過冷卻箱冷卻后再從出氣管導出，減少罩式退火爐所造成的污染，

提高了環(huán)保效果。

附圖說明[0018] 圖1為本實用新型的正視圖；[0019] 圖2為本實用新型安裝板的仰視圖；[0020] 圖3為本實用新型冷卻箱的剖視圖；[0021] 圖4為本實用新型安裝盤的正視圖；[0022] 圖5為本實用新型限制片的正視圖；[0023] 圖6為本實用新型彈簧的正視圖；[0024] 圖7為本實用新型限制片的正視圖。[0025] 圖中標號說明：[0026] 1、罩式退火爐；2、安裝板；3、導氣管；4、限制片；5、氣口；6、限位桿；7、安裝盤；8、伸縮桿；9、陶瓷分隔片；10、彈簧；11、過濾箱；12、過濾網(wǎng)；13、冷卻箱；14、出氣管；15、螺紋安裝

孔。

具體實施方式[0027] 下面將結合本實用新型實施例中的附圖對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的

實施例，基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下

所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

[0028] 在本實用新型的描述中，需要說明的是，術語“上”、“下”、“內(nèi)”、“外”、“頂/底端”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型

和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構

造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語“第一”、“第二”僅用于描述目

的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

[0029] 在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“安裝”、“設置有”、“套設/接”、“連接”等，應做廣義理解，例如“連接”，可以是固定連接，也可以

是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以

通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可

以具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。

[0030] 實施例：[0031] 請參閱圖1?7，一種罩式退火爐排氣裝置，包括罩式退火爐1，罩式退火爐1的頂端通過螺栓安裝設置有安裝板2，安裝板2的頂端開設有貫穿口，貫穿口的內(nèi)部固定連接有導

氣管3，導氣管3的底端延伸至罩式退火爐1的內(nèi)部，導氣管3的內(nèi)部固定連接有限制片4，限

制片4的頂端開設有氣口5，限制片4的頂端開設有多個螺紋安裝孔15，且多個螺紋安裝孔15

以氣口5的圓心為原點進行圓周排列，多個螺紋安裝孔15的內(nèi)部均設置有限位桿6，多個限

位桿6的頂端設置有安裝盤7，安裝盤7的底端中心處固定連接有伸縮桿8，伸縮桿8的底端固

定連接有陶瓷分隔片9，導氣管3的外壁靠近頂部邊緣處套設有過濾箱11，過濾箱11的前后

兩側外表面均開設有過濾口，兩個過濾口的內(nèi)部均安裝設置有過濾網(wǎng)12。

[0032] 在本實用新型的具體實施例中，通過陶瓷分隔片9的限制，當罩式退火爐1啟動時，內(nèi)部升溫，造成空氣膨脹，熱氣將陶瓷分隔片9頂起，使得一部分的熱氣流出，減少罩式退火

爐1內(nèi)部的氣壓，從而防止內(nèi)部氣壓過高，通過更換不同型號的彈簧10，可以滿足用戶對于

罩式退火爐1內(nèi)部不同氣壓的需求，當熱氣流出后，內(nèi)部氣壓降低，彈簧10通過推動伸縮桿8

來將陶瓷分隔片9向下壓動，使陶瓷分隔片9將氣口5封閉，使得罩式退火爐1內(nèi)部與外界空

氣不再流通，以保障內(nèi)部氣體的成分，避免外界氣體流入造成產(chǎn)品品質(zhì)受到影響，同時由于

罩式退火爐1排出的熱氣裹挾有大量的機油，貿(mào)然排出會造成管道積油和空氣污染，通過過

濾網(wǎng)12來對排出的熱氣進行過濾，減少其中的機油和雜質(zhì)，同時熱氣通過冷卻箱13冷卻后

再從出氣管14導出，減少罩式退火爐1所造成的污染，提升了環(huán)保效果。

[0033] 具體的請結合圖所示，安裝盤7的內(nèi)部安裝設置有彈簧10，彈簧10的頂端固定連接于安裝盤7的底面。

[0034] 本實施例中，通過彈簧10來控制陶瓷分隔片9的打開或封閉狀態(tài)。[0035] 具體的請結合圖所示，陶瓷分隔片9的半徑大于氣口5的半徑，且陶瓷分隔片9設置于氣口5的上方。

[0036] 本實施例中，通過陶瓷分隔片9來控制氣口5的打開或封閉狀態(tài)。[0037] 具體的請結合圖所示，安裝盤7頂端開設有多個貫穿孔，多個貫穿孔均開設于對應的限位桿6上方。

[0038] 本實施例中，通過貫穿孔來安裝長螺栓，從而對限位桿6進行安裝和固定。[0039] 具體的請結合圖所示，多個貫穿孔均貫穿限位桿6的底面，多個貫穿孔的內(nèi)部均插設有長螺栓，多個長螺栓均與對應的螺紋安裝孔15螺紋連接。

[0040] 本實施例中，通過螺紋安裝孔15來對長螺栓進行安裝和固定，用戶可以借此來對限位桿6進行安裝或拆卸。

[0041] 具體的請結合圖所示，導氣管3的外壁套設有冷卻箱13，冷卻箱13的一側外表面貫穿設置有出氣管14。

[0042] 本實施例中，通過冷卻箱13來對罩式退火爐1排出的熱氣進行冷卻，再通過出氣管14排出。

[0043] 工作原理：通過陶瓷分隔片9的限制，當罩式退火爐1啟動時，內(nèi)部升溫，造成空氣膨脹，熱氣將陶瓷分隔片9頂起，使得一部分的熱氣流出，減少罩式退火爐1內(nèi)部的氣壓，從

而防止內(nèi)部氣壓過高，通過更換不同型號的彈簧10，可以滿足用戶對于罩式退火爐1內(nèi)部不

同氣壓的需求，當熱氣流出后，內(nèi)部氣壓降低，彈簧10通過推動伸縮桿8來將陶瓷分隔片9向

下壓動，使陶瓷分隔片9將氣口5封閉，使得罩式退火爐1內(nèi)部與外界空氣不再流通，以保障

內(nèi)部氣體的成分，避免外界氣體流入造成產(chǎn)品品質(zhì)受到影響，同時由于罩式退火爐1排出的

熱氣裹挾有大量的機油，貿(mào)然排出會造成管道積油和空氣污染，通過過濾網(wǎng)12來對排出的

熱氣進行過濾，減少其中的機油和雜質(zhì)，同時熱氣通過冷卻箱13冷卻后再從出氣管14導出，

減少罩式退火爐1所造成的污染，提升了環(huán)保效果。

[0044] 本實用新型的控制方式是通過人工啟動和關閉開關來控制，動力元件的接線圖與電源的提供屬于本領域的公知常識，并且本實用新型主要用來保護機械裝置，所以本實用

新型不再詳細解釋控制方式和接線布置。

[0045] 以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內(nèi)，根據(jù)本實用

新型的技術方案及其改進構思加以等同替換或改變，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍

內(nèi)。