權(quán)利要求書： 1.一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，其特征在于，包括：(1)降低太陽能電池片的光致衰減；

(2)將所述太陽能電池片在300?600℃進(jìn)行退火；

(3)將退火后的太陽能電池片預(yù)熱至250?450℃；

(4)將所述太陽能電池片在第一溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第一光照處理，持續(xù)第一時(shí)間；

(5)將太陽能電池片在第二溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第二光照處理，持續(xù)第二時(shí)間；

其中，所述第一溫度范圍的最高溫度≥所述第二溫度范圍的最高溫度；

所述第一時(shí)間≤所述第二時(shí)間：

其中，步驟(2)包括：

(2.1)將所述太陽能電池片以10?40℃/s的速率升溫至300?600℃，升溫時(shí)間為5?60s；

(2.2)將所述太陽能電池片在300?600℃保溫2?60s；

(2.3)將所述太陽能電池片以2?10℃/s的速率降溫至60℃以下，降溫時(shí)間為5?90s。

2.如權(quán)利要求1所述的降低太陽能電池片載流子衰減的方法，其特征在于，步驟(2)包括：

(2.1)將所述太陽能電池片以10?30℃/s的速率升溫至350?450℃，升溫時(shí)間為10?20s；

(2.2)將所述太陽能電池片在350?450℃保溫3?10s；

(2.3)將所述太陽能電池片以2?10℃/s的速率降溫至室溫，降溫時(shí)間為40?90s。

3.如權(quán)利要求1所述的降低太陽能電池片載流子衰減的方法，其特征在于，步驟(3)中，升溫速率為30?45℃/s，預(yù)熱時(shí)間為5?60s。

4.如權(quán)利要求3所述的降低太陽能電池片載流子衰減的方法，其特征在于，步驟(3)中，預(yù)熱溫度為300?370℃，升溫速率為30?45℃/s，預(yù)熱時(shí)間為8?12s。

5.如權(quán)利要求1所述的降低太陽能電池片載流子衰減的方法，其特征在于，步驟(4)中，

4 4 2

所述第一光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×10?7×10W/m ，所述第一溫度范圍為250?450℃，所述第一時(shí)間為5?60s；

4 4 2

步驟(5)中，所述第二光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×10?7×10W/m ，所述第二溫度范圍為150?300℃，所述第二時(shí)間為5?60s。

6.如權(quán)利要求5所述的降低太陽能電池片載流子衰減的方法，其特征在于，步驟(4)中，

4 4 2

所述第一光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×10?5×10W/m ，所述第一溫度范圍為300?350℃，所述第一時(shí)間為5?10s；

4 4 2

步驟(5)中，所述第二光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×10?5×10W/m ，所述第二溫度范圍為200?300℃，所述第二時(shí)間為20?35s。

7.一種降低太陽能電池片載流子衰減的設(shè)備，其特征在于，包括用于傳送太陽能電池片的傳輸帶和依次設(shè)于所述傳送帶上的熱退火裝置和光熱處理裝置；

所述光熱處理裝置包括沿所述傳送帶依次設(shè)置的第一預(yù)熱區(qū)、第一光照區(qū)和第二光照區(qū)；所述第一光照區(qū)具有第一溫度范圍，光照時(shí)間為第一時(shí)間；所述第二光照區(qū)具有第二溫度范圍，光照時(shí)間為第二時(shí)間；

所述第一溫度范圍的最高溫度≥所述第二溫度范圍的最高溫度；

所述第一時(shí)間≤所述第二時(shí)間；

所述熱退火裝置對所述太陽能電池片的處理方法如下：(1)將所述太陽能電池片以10?40℃/s的速率升溫至300?600℃，升溫時(shí)間為5?60s；

(2)將所述太陽能電池片在300?600℃保溫2?60s；

(3)將所述太陽能電池片以2?10℃/s的速率降溫至60℃以下，降溫時(shí)間為5?90s。

8.如權(quán)利要求7所述的降低太陽能電池片載流子衰減的設(shè)備，其特征在于，所述熱退火裝置包括沿所述傳送帶依次設(shè)置的第二預(yù)熱區(qū)、保溫區(qū)和冷卻區(qū)。

9.一種太陽能電池，其特征在于，其通過如權(quán)利要求1?6任一項(xiàng)所述的方法處理而得。

說明書： 一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法、設(shè)備及太陽能電池

技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及太陽能電池領(lǐng)域，尤其涉及一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法、設(shè)備及太陽能電池。

背景技術(shù)[0002] 隨著光伏行業(yè)的快速發(fā)展，太陽能電池主流產(chǎn)品已從傳統(tǒng)鋁背場電池全面切換到高效PERC電池，轉(zhuǎn)換效率大幅提升。然而，隨著電池效率的不斷刷新，高效太陽能電池組件

質(zhì)量和可靠性要求也日趨嚴(yán)格，而載流子誘導(dǎo)衰減(CID：CarrierInducedDegradation)

已逐漸成為制約光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵問題之一。

[0003] CID是指太陽能電池及組件在載流子注入的過程中引起的功率衰減現(xiàn)象。目前對有關(guān)這種載流子引起的衰減機(jī)理尚未達(dá)成共識，且相關(guān)的監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)尚未制定和實(shí)行。光伏

業(yè)內(nèi)目前對CID機(jī)理推測含以下幾種原因：1)光致衰減(LID:light Induced

Degradation)：電池在光照過程中引起的功率衰減，業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為LID主要受硼氧復(fù)合體和

硼鐵對引起，硼氧缺陷態(tài)理論相對比較成熟。其衰減可達(dá)到3?7％，有些甚至可高達(dá)10％；2)

光熱衰減(LeTID：LightandelevatedTemperatureInducedDegradation)：是指電池在

高溫以及光照條件下引起的功率衰減，其衰減可達(dá)到10％左右；3)氫致衰減(HID:Hydrogen

InducedDegradation)，鈍化雜質(zhì)和缺陷部位的氫鍵很容易由于高溫和光照受到破壞，氫

進(jìn)入硅片體內(nèi)，過多的氫誘發(fā)形成復(fù)合中心引起衰減；4)金屬溶解分散理論，金屬沉淀在高

溫快燒的過程中分散形成間隙金屬離子，金屬原子可激活雜質(zhì)，引起衰減。

[0004] 在現(xiàn)有技術(shù)中，多集中于對LID衰減的研究，如專利CN105552173B提供了一種降低B摻雜晶硅太陽能電池光致衰減的方法，其在不同溫度下采用不同光強(qiáng)對硅片進(jìn)行不同時(shí)

間的光照處理，有效降低了LID；又如專利CN109616555A提供了一種提高太陽能電池抗光衰

能力的方法，其在不同溫度下向電池片注入遞減式電流，將LID降低至0.9％。

[0005] 然而，LeTID、HID以及金屬雜質(zhì)造成的衰減與LID并不相同；LID的測試溫度比較低，無法充分暴露PERC電池高溫衰減的風(fēng)險(xiǎn)。發(fā)明人通過測試發(fā)現(xiàn)：常規(guī)的硅片在經(jīng)過LID

衰減處理以后，LID衰減雖然降低到了1％左右，但CID仍然在2?4％左右，可見采用常規(guī)的

LID處理方式無法有效地降低CID。因此如何充分降低太陽能電池的CID衰減是行業(yè)亟需解

決的問題。

發(fā)明內(nèi)容[0006] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，其能有效降低太陽能電池CID衰減，提升電池效率和可靠性。

[0007] 本發(fā)明還要解決的技術(shù)問題在于，提供一種降低太陽能電池片載流子衰減的設(shè)備。

[0008] 本發(fā)明還要解決的技術(shù)問題在于，提供一種太陽能電池，其轉(zhuǎn)化效率高，可靠性高。

[0009] 為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，其包括：

[0010] (1)降低太陽能電池片的光致衰減；[0011] (2)將所述太陽能電池片在300?600℃進(jìn)行退火；[0012] (3)將退火后的太陽能電池片預(yù)熱至250?450℃；[0013] (4)將所述太陽能電池片在第一溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第一光照處理，持續(xù)第一時(shí)間；[0014] (5)將太陽能電池片在第二溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第二光照處理，持續(xù)第二時(shí)間；[0015] 其中，所述第一溫度范圍的最高溫度≥所述第二溫度范圍的最高溫度；[0016] 所述第一時(shí)間≤所述第二時(shí)間。[0017] 作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，步驟(2)包括：[0018] (2.1)將所述太陽能電池片以10?40℃/s的速率升溫至300?600℃，升溫時(shí)間為5?60s；

[0019] (2.2)將所述太陽能電池片在300?600℃保溫2?60s；[0020] (2.3)將所述太陽能電池片以2?10℃/s的速率降溫至60℃以下，降溫時(shí)間為5?90s。

[0021] 作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，步驟(2)包括：[0022] (2.1)將所述太陽能電池片以10?30℃/s的速率升溫至350?450℃，升溫時(shí)間為10?20s；

[0023] (2.2)將所述太陽能電池片在350?450℃保溫3?10s；[0024] (2.3)將所述太陽能電池片以2?10℃/s的速率降溫至室溫，降溫時(shí)間為40?90s。[0025] 作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，步驟(3)中，升溫速率為30?45℃/s，預(yù)熱時(shí)間為5?60s。[0026] 作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，步驟(3)中，預(yù)熱溫度為300?370℃，升溫速率為30?45℃/s，預(yù)熱時(shí)間為8?12s。

[0027] 作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，步驟(4)中，所述第一光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×4 4 2

10?7×10W/m，所述第一溫度范圍為250?450℃，所述第一時(shí)間為5?60s；

[0028] 步驟(5)中，所述第二光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×104?7×104W/m2，所述第二溫度范圍為150?300℃，所述第二時(shí)間為5?60s。

[0029] 作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，步驟(4)中，所述第一光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×4 4 2

10?5×10W/m，所述第一溫度范圍為300?350℃，所述第一時(shí)間為5?10s；

[0030] 步驟(5)中，所述第二光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×104?5×104W/m2，所述第二溫度范圍為200?300℃，所述第二時(shí)間為20?35s。

[0031] 相應(yīng)的，本發(fā)明還公開了一種降低太陽能電池片載流子衰減的設(shè)備，其包括用于傳送太陽能電池片的傳輸帶和依次設(shè)于所述傳送帶上的熱退火裝置和光熱處理裝置；

[0032] 所述光熱處理裝置包括沿所述傳送帶依次設(shè)置的第一預(yù)熱區(qū)、第一光照區(qū)和第二光照區(qū)；所述第一光照區(qū)具有第一溫度范圍，光照時(shí)間為第一時(shí)間；所述第二光照區(qū)具有第

二溫度范圍，光照時(shí)間為第二時(shí)間；

[0033] 所述第一溫度范圍的最高溫度≥所述第二溫度范圍的最高溫度；[0034] 所述第一時(shí)間≤所述第二時(shí)間。[0035] 作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所述熱退火裝置包括沿所述傳送帶依次設(shè)置的第二預(yù)熱區(qū)、保溫區(qū)和冷卻區(qū)。

[0036] 相應(yīng)的，本發(fā)明還公開了一種太陽能電池，其通過上述的方法處理而得。[0037] 實(shí)施本發(fā)明，具有如下有益效果：[0038] 本發(fā)明提供了一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，其包括熱退火、預(yù)熱、高溫光熱處理和低溫光熱處理；其中，熱退火過程可有效的激活太陽能電池片內(nèi)的H和金屬雜

質(zhì)，并且使無效H排出，使金屬雜質(zhì)沉淀，有效降低氫致衰減和金屬雜質(zhì)引起的CID衰減。預(yù)

熱工序可有效激活太陽能電池內(nèi)部的H和B?O復(fù)合體；高溫和低溫光熱處理步驟則可有效促

進(jìn)H和B?O復(fù)合體由不穩(wěn)定態(tài)再生恢復(fù)為鈍化穩(wěn)定態(tài)，從而有效降低太陽能電池的CID衰減

率。

[0039] 同時(shí)，本發(fā)明還提供了一種降低太陽能電池片載流子衰減的設(shè)備，其可嵌入現(xiàn)有生產(chǎn)線，適合大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。

附圖說明[0040] 圖1是本發(fā)明一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法的流程圖。具體實(shí)施方式[0041] 為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。僅此聲明，本發(fā)明在文中出現(xiàn)或即將出現(xiàn)的上、下、左、右、前、后、內(nèi)、外等方

位用詞，僅以本發(fā)明的附圖為基準(zhǔn)，其并不是對本發(fā)明的具體限定。

[0042] 傳統(tǒng)的降低光致衰減(LID)的方法無法有效降低載流子誘導(dǎo)衰減(CID)，降低了太陽能電池的效率和可靠性。為此，本發(fā)明提供了一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，

參考圖1，其包括以下步驟：

[0043] S1：降低太陽能電池片的光致衰減；[0044] 具體的，可采用電注入、光熱再生、退火等方式中的一種或組合降低太陽能電池片的光致衰減，但不限于上述方法。具體的，可采用例如ZL201610091453.9或

ZL201811542505.5中的方法降低太陽能電池的光致衰減(LID)。

[0045] 需要說明的是，載流子衰減(CID)與光致衰減(LID)是不同的。兩者的產(chǎn)生機(jī)理、測試方法均不同。就產(chǎn)生機(jī)理而言，目前學(xué)界對于LID的產(chǎn)生機(jī)理有明確的認(rèn)識——主要是硅

材料內(nèi)的硼氧對和硼鐵對缺陷；但對于CID的產(chǎn)生機(jī)理尚未有明確的結(jié)論，LID與CID之間究

竟有何種關(guān)系，也未有明確的結(jié)論。就測試方法而言，兩者的測試條件也是不同的。LID的測

試條件是：1)光照強(qiáng)度在1000±50W；2)光衰設(shè)定5kW·h或30kW·h；3)樣品溫度調(diào)整控制在

60?70℃。CID的測試條件是：將太陽能電池放置在110℃封閉暗室中，在0.5A連續(xù)正向電流

通電條件下持續(xù)處理8h。雖然兩者不同之處較多，但可以肯定的是，LID和CID兩者都對太陽

能電池性能影響巨大，需要對兩者都進(jìn)行處理。然而，在現(xiàn)有文獻(xiàn)中，多集中于對LID的處

理，往往忽視對CID的處理。發(fā)明人經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn)，在LID處理以后，LID會(huì)降低至1％左右，但

是CID仍然可達(dá)到2?4％。為此，本發(fā)明還進(jìn)行了下續(xù)步驟的處理：

[0046] S2：將所述太陽能電池片在300?600℃進(jìn)行退火；[0047] 具體的，S2包括：[0048] S21：將所述太陽能電池片以10?40℃/s的速率升溫至300?600℃，升溫時(shí)間為5?60s；

[0049] 具體的，快速升溫可激活太陽能電池中的H和金屬雜質(zhì)。[0050] 優(yōu)選的，將所述太陽能電池片以10?30℃/s的速率升溫至350?450℃，升溫時(shí)間為10?20s。在此條件下，太陽能電池中的無效H和金屬雜質(zhì)能夠被有效地激活。

[0051] S22：將所述太陽能電池片在300?600℃保溫2?60s；[0052] 在較高溫度(300?600℃)下保溫，可以促進(jìn)H快速分解成H+、H?和H0，并且也可以有效地延長各種H的擴(kuò)散長度，確保無效H能被排出太陽能電池片外，防止過多的H在高溫和載

?

流子注入后重新捕獲H ，造成較高的CID衰減。此外，在較高溫度下保溫，也能夠促進(jìn)硅片內(nèi)

Cu、Fe、Ni等雜質(zhì)的激活和聚集，方便后期進(jìn)行沉淀處理。

[0053] 優(yōu)選的，將所述太陽能電池片在350?450℃保溫3?10s。若處理時(shí)間＞10s，則太陽能電池片中的有效H也會(huì)被排出，造成太陽能電池體內(nèi)H鈍化不足，電池轉(zhuǎn)換效率降低。

[0054] S23：將所述太陽能電池片以2?10℃/s的速率降溫至60℃以下，降溫時(shí)間為5?90s。[0055] 通過降溫，可使得被激活的金屬雜質(zhì)轉(zhuǎn)化為沉淀形式，降低金屬所引發(fā)的CID衰減。高溫使得金屬原子遷移至正常晶格內(nèi)，當(dāng)降溫速率＞10℃/s時(shí)，金屬原子容易形成高度

電活性點(diǎn)缺陷，造成材料少子壽命降低，即CID衰減提升。

[0056] 優(yōu)選的，降溫速率為2?10℃/s，降溫時(shí)間為30?90s，降溫至室溫。進(jìn)一步優(yōu)選的，降溫速率為2?5℃/s，降溫時(shí)間為40?90s。

[0057] S3：將退火后的太陽能電池片預(yù)熱至250?450℃；[0058] 熱退火過程排出了大量的無效H，也會(huì)造成太陽能電池內(nèi)有效H的排出，導(dǎo)致太陽能電池內(nèi)鈍化不足。為此，采用預(yù)熱激活介質(zhì)膜中的H，使其進(jìn)入太陽能電池內(nèi)部。同時(shí)預(yù)熱

也可促進(jìn)B?O復(fù)合體轉(zhuǎn)化為退火態(tài)，在后續(xù)工序中通過高溫光照處理后轉(zhuǎn)換為再生態(tài)，有利

于對CID進(jìn)行充分處理。

[0059] 其中，預(yù)熱溫度為250?450℃，預(yù)熱升溫速率為30?45℃/s，預(yù)熱時(shí)間為5?60s；優(yōu)選的，預(yù)熱溫度為300?370℃，預(yù)熱升溫速率為30?45℃/s，預(yù)熱時(shí)間為8?12s。在此預(yù)熱條件

下，可有效控制H的擴(kuò)散長度，防止介質(zhì)膜中的有效H被大量排出太陽能電池片；同時(shí)也能保

證H具有足夠的擴(kuò)散長度，能夠與B?O復(fù)合體充分接觸。

[0060] 優(yōu)選的，上述預(yù)熱在氮?dú)鈿夥罩羞M(jìn)行，以防止在硅片中引入O，形成更多的B?O缺陷。

[0061] S4：將所述太陽能電池片在第一溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第一光照處理，持續(xù)第一時(shí)間；[0062] 其中，第一光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×104?7×104W/m2，第一溫度范圍為250?4 4 2

450℃，第一時(shí)間為5?60s。優(yōu)選的，第一光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×10 ?5×10 W/m ，第

一溫度范圍為300?350℃，第一時(shí)間為5?10s。

[0063] 在上述處理?xiàng)l件下，B?O復(fù)合體由退火態(tài)在H的鈍化下轉(zhuǎn)化為再生態(tài)，同時(shí)H也可對太陽能電池內(nèi)部的位錯(cuò)晶格缺陷進(jìn)行鈍化。當(dāng)溫度＞450℃時(shí)，有一部分的B?O復(fù)合體會(huì)從

退火態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)槭Х€(wěn)態(tài)，弱化處理效果。當(dāng)溫度＜250℃時(shí)，電池片內(nèi)的H移動(dòng)速度慢，無法有

效與B?O復(fù)合體結(jié)合。

[0064] 進(jìn)一步的，發(fā)明人通過研究發(fā)現(xiàn)，當(dāng)光照強(qiáng)度高于5×104W/m2，或低于2×104W/m2時(shí)，處理效果會(huì)變差；當(dāng)溫度＞350℃或＜300℃時(shí)，處理效果也會(huì)變差。發(fā)明人猜測，在光照

4 4 2 + ? 0

強(qiáng)度為2×10?5×10W/m，同時(shí)溫度為300?350℃時(shí)，從介質(zhì)膜中排出的H會(huì)由H向著H 和H

?

轉(zhuǎn)化。其中，H 能夠有效鈍化B?O復(fù)合中心；同時(shí)，在此溫度內(nèi)，各種H的移動(dòng)速度較快，能有

效的與B?O結(jié)合。通過控制溫度、光照強(qiáng)度和處理時(shí)間，可良好地控制上述H的轉(zhuǎn)化和移動(dòng)過

程。

[0065] 進(jìn)一步的，在上述步驟中，控制溫度為一范圍，在處理過程中，可控制溫度為上升變化或下降變化；優(yōu)選的，可控制溫度以5?10℃/s的速度從峰值溫度下降。

[0066] S5：將太陽能電池片在第二溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第二光照處理，持續(xù)第二時(shí)間；[0067] 其中，第二光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×104?7×104W/m2，第二溫度范圍為150?4 4 2

300℃，第二時(shí)間為5?60s。優(yōu)選的，第二光照處理的光照強(qiáng)度范圍為2×10 ?5×10 W/m ，第

二溫度范圍為200?300℃，第二時(shí)間為20?35s。在上述處理?xiàng)l件下，B?O復(fù)合體充分轉(zhuǎn)變。

[0068] 在第一光照處理過程中，主要是采用較高的溫度，其主要作用是促進(jìn)H的狀態(tài)轉(zhuǎn)化和移動(dòng)，然而過高的溫度也會(huì)造成B?O復(fù)合中心由退火態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)槭Х€(wěn)態(tài)；因此，本發(fā)明設(shè)置

了第二光照處理，在較低的溫度下進(jìn)行光照處理，可有效促進(jìn)B?O中心的充分轉(zhuǎn)化，達(dá)到充

分降低CID的作用。

[0069] 此外，持續(xù)的高溫處理也會(huì)使得H由太陽能電池體內(nèi)逃逸至表面，降低內(nèi)部的有效鈍化。故通過在較低溫度的第二溫度范圍(200?300℃)進(jìn)行光照處理，可有效地縮短H的擴(kuò)

散長度，確保鈍化效果。

[0070] 進(jìn)一步的，在上述步驟中，控制溫度為一范圍，在處理過程中，可控制溫度為上升變化或下降變化；優(yōu)選的，可控制溫度以1?20℃/s的速度從峰值溫度降低。優(yōu)選的，以1?5

℃/s的速度從峰值溫度降低。

[0071] 相應(yīng)的，本發(fā)明還公開了一種降低太陽能電池片載流子衰減的設(shè)備，包括用于傳送太陽能電池片的傳輸帶和依次設(shè)于所述傳送帶上的至少一組熱退火裝置和至少一組光

熱處理裝置；所述熱退火裝置和所述光熱處理裝置相互間隔設(shè)置。

[0072] 其中，熱退火裝置包括沿所述傳送帶依次設(shè)置的第二預(yù)熱區(qū)、保溫區(qū)和冷卻區(qū)。光熱處理裝置包括沿所述傳送帶依次設(shè)置的第一預(yù)熱區(qū)、第一光照區(qū)和第二光照區(qū)；所述第

一光照區(qū)具有第一溫度范圍，光照時(shí)間為第一時(shí)間；所述第二光照區(qū)具有第二溫度范圍，光

照時(shí)間為第二時(shí)間；所述第一溫度范圍的最高溫度≥所述第二溫度范圍的最高溫度；所述

第一時(shí)間≤所述第二時(shí)間。

[0073] 相應(yīng)的，本發(fā)明還公開了一種太陽能電池，其通過上述方法進(jìn)行處理而得。優(yōu)選的，所述太陽能電池為摻B單晶硅PERC太陽能電池。

[0074] 下面以具體實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明：[0075] 實(shí)施例1[0076] 本實(shí)施例提供一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，具體包括以下步驟：[0077] (1)降低太陽能電池片的光致衰減；[0078] 具體的，采用ZL201811542505.5的方法降低太陽能電池片的光致衰減；經(jīng)過此步驟后，LID為0.9％；CID為2.3％；

[0079] (2)將太陽能電池片在350℃退火；[0080] 具體的，包括：[0081] (2.1)將太陽能電池片以33℃/s的速率升溫至350℃，升溫時(shí)間為10s；[0082] (2.2)在350℃保溫4s；[0083] (2.3)將太陽能電池片以10℃/s的速率冷卻至50℃，降溫時(shí)間為30s。[0084] (3)將太陽能電池片預(yù)熱至350℃；[0085] 其中，升溫速率為30℃/s，預(yù)熱時(shí)間為10s；[0086] (4)將太陽能電池片在第一溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第一光照處理，持續(xù)第一時(shí)間；[0087] 其中，第一溫度范圍為300?330℃；第一光照處理的光照強(qiáng)度為3×104W/m2，第一時(shí)間為5s；

[0088] (5)將太陽能電池片在第二溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第二光照處理，持續(xù)第二時(shí)間；[0089] 其中，第二溫度范圍為150?180℃，第二光照處理的光照強(qiáng)度為5×104W/m2，第二時(shí)間為35s。

[0090] 實(shí)施例2[0091] 本實(shí)施例提供一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，具體包括以下步驟：[0092] (1)降低太陽能電池片的光致衰減；[0093] 具體的，采用ZL201610091453.9的方法降低太陽能電池片的光致衰減；經(jīng)過此步驟后，LID為1.1％；CID為3.5％；

[0094] (2)將太陽能電池片在400℃退火；[0095] 具體的，包括：[0096] (2.1)將太陽能電池片以25℃/s的速率升溫至400℃，升溫時(shí)間為15s；[0097] (2.2)在400℃保溫5s；[0098] (2.3)將太陽能電池片以6℃/s的速率冷卻至58℃，降溫時(shí)間為57s。[0099] (3)將太陽能電池片預(yù)熱至340℃；[0100] 其中，升溫速率為40℃/s，預(yù)熱時(shí)間為7s；[0101] (4)將太陽能電池片在第一溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第一光照處理，持續(xù)第一時(shí)間；[0102] 其中，第一溫度范圍為320?350℃，第一光照處理的光照強(qiáng)度為3×104W/m2，第一時(shí)間為6s；其中，在處理過程中，以5℃/s的速度進(jìn)行升溫。

[0103] (5)將太陽能電池片在第二溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第二光照處理，持續(xù)第二時(shí)間；[0104] 其中，第二溫度范圍為220?260℃，第二光照處理的光照強(qiáng)度為4×104W/m2，第二時(shí)間為35s。其中，在處理過程中，以1.14℃/s的速度進(jìn)行降溫。

[0105] 實(shí)施例3[0106] 本實(shí)施例提供一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，具體包括以下步驟：[0107] (1)降低太陽能電池片的光致衰減；[0108] 具體的，采用ZL201610091453.9的方法降低太陽能電池片的光致衰減；經(jīng)過此步驟后，LID為1.1％；CID為3.5％；

[0109] (2)將太陽能電池片在400℃退火；[0110] 具體的，包括：[0111] (2.1)將太陽能電池片以25℃/s的速率升溫至400℃，升溫時(shí)間為15s；[0112] (2.2)在400℃保溫5s；[0113] (2.3)將太陽能電池片以5℃/s的速率冷卻至30℃，降溫時(shí)間為74s。[0114] (3)將太陽能電池片預(yù)熱至340℃；[0115] 其中，升溫速率為40℃/s，預(yù)熱時(shí)間為7s；[0116] (4)將太陽能電池片在第一溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第一光照處理，持續(xù)第一時(shí)間；[0117] 其中，第一溫度范圍為320?350℃，第一光照處理的光照強(qiáng)度為3×104W/m2，第一時(shí)間為6s；其中，在處理過程中，以5℃/s的速度進(jìn)行升溫。

[0118] (5)將太陽能電池片在第二溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第二光照處理，持續(xù)第二時(shí)間；[0119] 其中，第二溫度范圍為220?260℃，第二光照處理的光照強(qiáng)度為4×104W/m2，第二時(shí)間為35s。其中，在處理過程中，以1.14℃/s的速度進(jìn)行降溫。

[0120] 實(shí)施例4[0121] 本實(shí)施例提供一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，具體包括以下步驟：[0122] (1)降低太陽能電池片的光致衰減；[0123] 具體的，采用ZL201610091453.9的方法降低太陽能電池片的光致衰減；經(jīng)過此步驟后，LID為1.1％；CID為3.5％；

[0124] (2)將太陽能電池片在400℃退火；[0125] 具體的，包括：[0126] (2.1)將太陽能電池片以25℃/s的速率升溫至400℃，升溫時(shí)間為15s；[0127] (2.2)在400℃保溫5s；[0128] (2.3)將太陽能電池片以5℃/s的速率冷卻至30℃，降溫時(shí)間為74s。[0129] (3)將太陽能電池片預(yù)熱至340℃；[0130] 其中，升溫速率為40℃/s，預(yù)熱時(shí)間為7s；[0131] (4)將太陽能電池片在第一溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第一光照處理，持續(xù)第一時(shí)間；[0132] 其中，第一溫度范圍為320?350℃，第一光照處理的光照強(qiáng)度為3×104W/m2，第一時(shí)間為6s；其中，在處理過程中，以5℃/s的速度進(jìn)行降溫。

[0133] (5)將太陽能電池片在第二溫度范圍內(nèi)進(jìn)行第二光照處理，持續(xù)第二時(shí)間；[0134] 中，第二溫度范圍為220?260℃，第二光照處理的光照強(qiáng)度為4×104W/m2，第二時(shí)間為35s。其中，在處理過程中，以1.14℃/s的速度進(jìn)行降溫。

[0135] 對比例1[0136] 本對比例提供一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，具體包括以下步驟：[0137] (1)降低太陽能電池片的光致衰減；[0138] 具體的，采用ZL201610091453.9的方法降低太陽能電池片的光致衰減；經(jīng)過此步驟后，LID為1.1％；CID為3.5％；

[0139] (2)采用ZL201610091453.9的方法對太陽能電池進(jìn)行一次處理。[0140] 對比例2[0141] 本對比例提供一種降低太陽能電池片載流子衰減的方法，具體包括以下步驟：[0142] (1)降低太陽能電池片的光致衰減；[0143] 具體的，采用ZL201610091453.9的方法降低太陽能電池片的光致衰減；經(jīng)過此步驟后，LID為1.1％；CID為3.5％；

[0144] (2)將太陽能電池片在400℃退火；[0145] 具體的，包括：[0146] (2.1)將太陽能電池片以25℃/s的速率升溫至400℃，升溫時(shí)間為15s；[0147] (2.2)在400℃保溫5s；[0148] (2.3)將太陽能電池片以5℃/s的速率冷卻至30℃，降溫時(shí)間為74s。[0149] (3)采用ZL201610091453.9的方法對太陽能電池進(jìn)行一次處理。[0150] 將實(shí)施例1?4、對比例1?2的太陽能電池片做測試，結(jié)果如下：[0151] 實(shí)施例1 實(shí)施例2 實(shí)施例3 實(shí)施例4 對比例1 對比例2

LID 0.48％ 0.58％ 0.58％ 0.44％ 0.9％ 0.88％

CID 1.44％ 1.76％ 1.63％ 1.27％ 3.4％ 2.9％

[0152] 以上所述是發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也視為本

發(fā)明的保護(hù)范圍。