權(quán)利要求

1.一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)，其特征在于，其包括廢水管線、吸附樹(shù)脂儲(chǔ)料裝置、堿液管線、吸附池、壓濾機(jī)、后處理系統(tǒng)、鹽酸管線、脫附池和離心機(jī);所述廢水管線的出水端、所述吸附樹(shù)脂儲(chǔ)料裝置的出料口和所述堿液管線的出液口均與所述吸附池的進(jìn)口連接;所述吸附池的出液口與所述壓濾機(jī)的進(jìn)液口連通，所述壓濾機(jī)的出水口與所述后處理系統(tǒng)的氟離子沉降池的進(jìn)水口連通;所述壓濾機(jī)的濾泥出口和所述鹽酸管線的出液端均與所述脫附池的進(jìn)口連接，所述脫附池的泥漿出口與所述離心機(jī)的進(jìn)泥口連通，所述離心機(jī)的樹(shù)脂出口與所述吸附池的進(jìn)口連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)，其特征在于，所述后處理系統(tǒng)包括按照廢水處理方向依次連接設(shè)置的所述氟離子沉降池、絮凝池、沉淀池、調(diào)節(jié)池和接觸氧化池;石灰乳藥箱的出口與所述氟離子沉降池的進(jìn)藥口連通;混凝劑藥箱和絮凝劑藥箱的出口均與所述絮凝池的進(jìn)藥口連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)，其特征在于，其還包括污泥暫存池，所述氟離子沉降池和所述沉淀池的污泥出口均與所述污泥暫存池的進(jìn)口連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)，其特征在于，在所述接觸氧化池內(nèi)設(shè)有曝氣器，所述曝氣器的進(jìn)風(fēng)口與外設(shè)的曝氣鼓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求2-4任一所述的一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)，其特征在于，在所述吸附池、所述脫附池、所述氟離子沉降池、所述絮凝池和所述調(diào)節(jié)池內(nèi)分別設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)。

說(shuō)明書(shū)

技術(shù)領(lǐng)域

[0001]本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)廢水處理回收技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)。

背景技術(shù)

[0002]電子級(jí)多晶硅是集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，其使用改良西門(mén)子法生產(chǎn)，生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的清洗廢水，其中含有大量的單質(zhì)硅，具體的：1、多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中需要用高純水對(duì)反應(yīng)設(shè)備、管道和反應(yīng)釜等進(jìn)行定期清洗，以去除在產(chǎn)品硅棒生產(chǎn)過(guò)程中附著在上述設(shè)備、管道和反應(yīng)釜內(nèi)壁上的不定型硅粉;2、在后處理清洗工序，會(huì)對(duì)破碎后的硅塊進(jìn)行沖洗;由于破碎過(guò)程會(huì)產(chǎn)生微細(xì)硅粒、硅粉，會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量，需要用高純水將破碎后硅塊表面的硅粉清除干凈，以減少對(duì)后續(xù)程序的污染。且由于大部分硅粉粒徑較小(d50=0.5μm)，在廢液中處于懸浮狀態(tài)，難以通過(guò)沉降過(guò)濾。因此目前只能通過(guò)化學(xué)絮凝、壓濾等方法處理，而其中單質(zhì)硅被壓濾在濾泥中，被當(dāng)做濾泥進(jìn)行處理，導(dǎo)致單質(zhì)硅的浪費(fèi)，未實(shí)現(xiàn)單質(zhì)硅本身價(jià)值，同時(shí)增加了濾泥的處理成本等問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種連接結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，增加了企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益，且避免了單質(zhì)硅浪費(fèi)的多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)。

[0004]本實(shí)用新型由如下技術(shù)方案實(shí)施：本專(zhuān)利的目的提供一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)，其包括廢水管線、吸附樹(shù)脂儲(chǔ)料裝置、堿液管線、吸附池、壓濾機(jī)、后處理系統(tǒng)、鹽酸管線、脫附池和離心機(jī);所述廢水管線的出水端、所述吸附樹(shù)脂儲(chǔ)料裝置的出料口和所述堿液管線的出液口均與所述吸附池的進(jìn)口連接;所述吸附池的出液口與所述壓濾機(jī)的進(jìn)液口連通，所述壓濾機(jī)的出水口與所述后處理系統(tǒng)的氟離子沉降池的進(jìn)水口連通;所述壓濾機(jī)的濾泥出口和所述鹽酸管線的出液端均與所述脫附池的進(jìn)口連接，所述脫附池的泥漿出口與所述離心機(jī)的進(jìn)泥口連通，所述離心機(jī)的樹(shù)脂出口與所述吸附池的進(jìn)口連通。

[0005]進(jìn)一步的，所述后處理系統(tǒng)包括按照廢水處理方向依次連接設(shè)置的所述氟離子沉降池、絮凝池、沉淀池、調(diào)節(jié)池和接觸氧化池;石灰乳藥箱的出口與所述氟離子沉降池的進(jìn)藥口連通;混凝劑藥箱和絮凝劑藥箱的出口均與所述絮凝池的進(jìn)藥口連通。

[0006]進(jìn)一步的，其還包括污泥暫存池，所述氟離子沉降池和所述沉淀池的污泥出口均與所述污泥暫存池的進(jìn)口連通。

[0007]進(jìn)一步的，在所述接觸氧化池內(nèi)設(shè)有曝氣器，所述曝氣器的進(jìn)風(fēng)口與外設(shè)的曝氣鼓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通。

[0008]進(jìn)一步的，在所述吸附池、所述脫附池、所述氟離子沉降池、所述絮凝池和所述調(diào)節(jié)池內(nèi)分別設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)。

[0009]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：本實(shí)用新型連接結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易實(shí)現(xiàn)，在對(duì)電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)廢水進(jìn)行常規(guī)處理之前，通過(guò)樹(shù)脂吸附硅粉，之后經(jīng)過(guò)壓濾得到的濾泥，濾泥與鹽酸混合，使硅粉從樹(shù)脂上解吸，最后經(jīng)過(guò)離心機(jī)分離，樹(shù)脂重新回到吸附池再次吸附廢水中的硅粉，分離出的硅泥被回收用于光伏多晶硅制造或者售賣(mài)，極大的增加了企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益，避免了單質(zhì)硅的浪費(fèi);同時(shí)，減少了后續(xù)污泥的處理成本。

附圖說(shuō)明

[0010]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

[0011]圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

[0012]廢水管線1，吸附樹(shù)脂儲(chǔ)料裝置2，堿液管線3，吸附池4，壓濾機(jī)5，后處理系統(tǒng)6，氟離子沉降池601，絮凝池602，沉淀池603，調(diào)節(jié)池604，接觸氧化池605，污泥暫存池606，石灰乳藥箱607，混凝劑藥箱608，絮凝劑藥箱609，曝氣器610，曝氣鼓風(fēng)機(jī)611，鹽酸管線7，脫附池8，離心機(jī)9。

具體實(shí)施方式

[0013]實(shí)施例：如圖1所示，一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)，其包括廢水管線1、吸附樹(shù)脂儲(chǔ)料裝置2、堿液管線3、吸附池4、壓濾機(jī)5、后處理系統(tǒng)6、鹽酸管線7、脫附池8和離心機(jī)9;廢水管線1的出水端、吸附樹(shù)脂儲(chǔ)料裝置2的出料口和堿液管線3的出液口均與吸附池4的進(jìn)口連接;吸附池4的出液口與壓濾機(jī)5的進(jìn)液口連通，壓濾機(jī)5的出水口與后處理系統(tǒng)6的氟離子沉降池601的進(jìn)水口連通;壓濾機(jī)5的濾泥出口和鹽酸管線7的出液端均與脫附池8的進(jìn)口連接，脫附池8的泥漿出口與離心機(jī)9的進(jìn)泥口連通，離心機(jī)9的樹(shù)脂出口與吸附池4的進(jìn)口連通。

[0014]后處理系統(tǒng)6包括按照廢水處理方向依次連接設(shè)置的氟離子沉降池601、絮凝池602、沉淀池603、調(diào)節(jié)池604、接觸氧化池605和污泥暫存池606;石灰乳藥箱607的出口與氟離子沉降池601的進(jìn)藥口連通;混凝劑藥箱608和絮凝劑藥箱609的出口均與絮凝池602的進(jìn)藥口連通，氟離子沉降池601和沉淀池603的污泥出口均與污泥暫存池606的進(jìn)口連通;在接觸氧化池605內(nèi)設(shè)有曝氣器610，曝氣器610的進(jìn)風(fēng)口與外設(shè)的曝氣鼓風(fēng)機(jī)611的出風(fēng)口連通。

[0015]在吸附池4、脫附池8、氟離子沉降池601、絮凝池602和調(diào)節(jié)池604內(nèi)分別設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)，其中攪拌機(jī)構(gòu)采用機(jī)械攪拌器或空氣攪拌機(jī)。

[0016]工作原理：

[0017]來(lái)自清洗設(shè)備工序的清洗廢水與后處理清洗工序清洗硅塊的酸性廢水送至吸附池4內(nèi)，接著向吸附池4內(nèi)的廢水加入吸附樹(shù)脂和堿液，其中的攪拌機(jī)構(gòu)以80-120r/min的速度攪拌10-30min，使廢水溶液充分混合，廢水溶液中的硅粉顆粒帶負(fù)電荷，吸附在帶正電的樹(shù)脂上，攪拌完成送至壓濾機(jī)5壓濾，壓濾出的濾泥送至脫附池8，并向其中加入鹽酸溶液，其中的攪拌機(jī)構(gòu)以80-120r/min的速度攪拌10-30min，使濾泥中的硅粉從樹(shù)脂上解吸，之后經(jīng)過(guò)離心機(jī)9分離，分離出的樹(shù)脂重新回到吸附池4再次吸附廢水中的硅粉，分離出的硅泥被回收用于光伏多晶硅制造或者售賣(mài)，極大的增加了企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益，避免了單質(zhì)硅的浪費(fèi);同時(shí)，減少了后續(xù)污泥的處理成本。

[0018]壓濾機(jī)5壓濾出的廢水被送至后續(xù)氟離子沉降池601中，同時(shí)添加石灰乳，邊添加邊攪拌，使其與廢水充分混合，混合后停止攪拌，靜置1.5h，石灰乳與廢水中的氟離子反應(yīng)生成沉淀，進(jìn)而去除廢水中的氟離子，氟離子沉降池601的清液進(jìn)入絮凝池602內(nèi)，停留1h，向絮凝池602內(nèi)先加入混凝劑PAC邊添加邊攪拌，去除廢水中的SS，再添加絮凝劑PAM絮凝，邊添加邊攪拌，使廢水中的微小懸浮顆粒聚集，形成較大的絮團(tuán)，之后進(jìn)入沉淀池603靜置沉淀3.0h，使廢水中較大的絮團(tuán)發(fā)生沉淀，沉淀池603內(nèi)的清液進(jìn)入調(diào)節(jié)池604進(jìn)行pH調(diào)節(jié)，停留50min，使廢水的pH值滿足后續(xù)接觸氧化池605的生化進(jìn)水要求，最后廢水進(jìn)入接觸氧化池605并停留8.2h，在微生物的新陳代謝作用下，廢水中的有機(jī)物得到去除;在接觸氧化池605內(nèi)BOD大部分被降解，可進(jìn)一步去除廢水中的污染物，廢水達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，可直接達(dá)標(biāo)排放。