本實(shí)用新型屬于用物理冶金技術(shù)提純
多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域。一種電子束高效提純多晶硅粉體的設(shè)備,設(shè)備中由真空蓋、爐壁和裝粉蓋組成真空設(shè)備,真空設(shè)備內(nèi)腔是真空室;真空室內(nèi)上部裝有裝粉桶,裝粉桶頂部帶有裝粉蓋,裝粉蓋位于真空爐壁上,裝粉桶底部帶有出料口,出料口裝配有外驅(qū)式擋粉板,裝粉桶出料口底部裝有熔煉坩堝,熔煉坩堝底部通過支撐桿固定在真空室底部,熔煉坩堝出料口下方放置拉錠機(jī)構(gòu),電子槍安裝在真空室上部,電子束流對準(zhǔn)硅塊。本實(shí)用新型設(shè)備簡便、技術(shù)穩(wěn)定、能源消耗少、成本低、整個(gè)設(shè)備同時(shí)應(yīng)用電子束熔煉硅粉和定向凝固技術(shù),從而實(shí)現(xiàn)除磷和除金屬的雙重效果,適合批量生產(chǎn)硅材料。
聲明:
“電子束高效提純多晶硅粉體的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)