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石英管取尾料式定向凝固提純多晶硅的方法及設備

687 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:33:09

本發(fā)明屬于冶金提純技術領域，特別涉及一種取尾料式定向凝固提純多晶硅的方法及設備。該方法是在惰性氣體環(huán)境中，將硅料熔化形成硅熔體；之后降溫、拉錠，待凝固完成85~90%時，將石英管伸入剩余的硅熔體中，停止抽真空，通入惰性氣體，剩余硅熔體在壓力差作用下進入石英管中，繼續(xù)向下拉錠，坩堝上端離開加熱區(qū)后，將尾料收集箱伸入到尖嘴石英管正下方；切斷電源，停止加熱，石英管中的硅熔體膨脹，石英管脹裂后下落至尾料收集箱，坩堝中的為高純硅鑄錠。本發(fā)明防止了雜質反擴散，減少了工藝，提高了鑄錠的出成率，該發(fā)明設備改造安裝方便，操作簡單，能有效去除鑄錠尾部富集的雜質，節(jié)約了生產(chǎn)周期和成本，適用于工業(yè)化生產(chǎn)。

聲明：

“石英管取尾料式定向凝固提純多晶硅的方法及設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)