本發(fā)明公開(kāi)了一種直流電場(chǎng)誘導(dǎo)合金定向凝固生長(zhǎng)、強(qiáng)化合金精煉過(guò)程的工藝:將Si?M母合金加熱至相應(yīng)的液相線溫度,得到Si?M合金熔體,在Si?M合金熔體中引入直流電場(chǎng)使Si?M合金熔體中的硅原子發(fā)生定向移動(dòng),在
石墨坩堝的底部富集,形成過(guò)飽和區(qū)域,從而在晶硅襯底上形核、生長(zhǎng);在生長(zhǎng)過(guò)程中,由石墨坩堝頂部連續(xù)添加原料硅,實(shí)現(xiàn)晶體硅的連續(xù)生長(zhǎng)。生長(zhǎng)結(jié)束后,關(guān)閉熱源,冷卻凝固后關(guān)閉直流電源。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)高精準(zhǔn)度的定向生長(zhǎng)模式,有效降低了精煉溫度,以及各種雜質(zhì)的分凝系數(shù),減少能耗,增強(qiáng)了提純效果,使不同雜質(zhì)在電場(chǎng)作用下重新分布,通過(guò)不斷添加原料硅,在凝固析出硅的同時(shí)能源源不斷地提供硅原子,實(shí)現(xiàn)硅的連續(xù)生長(zhǎng)。
聲明:
“直流電場(chǎng)誘導(dǎo)合金定向凝固生長(zhǎng)、強(qiáng)化合金精煉過(guò)程的工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)