本發(fā)明公開了一種氫氣傳感器用薄膜材料,包括基片、合金薄膜材料和保護(hù)薄膜;基片和保護(hù)薄膜夾覆著合金薄膜材料。也公開了一種氫氣傳感器用薄膜材料的制備方法。本氫氣傳感器用薄膜材料,其中的合金薄膜材料由亞微米或納米晶組成,可重復(fù)使用、響應(yīng)速度快、靈敏度高、測量范圍廣、也不需要經(jīng)常校核,本薄膜材料可制備成一種輕便型固態(tài)氫氣傳感器,能耗低,實用范圍廣,不受檢測環(huán)境約束,測量的氫氣濃度范圍廣,由于合金薄膜材料粒度小(大約為100NM左右),對氫氣敏感性高,因而靈敏度好。
聲明:
“氫氣傳感器用薄膜材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)