本發(fā)明公開(kāi)了一種硫系多元合金靶材及其制造方法,所述靶材包括的化學(xué)元素及其質(zhì)量分?jǐn)?shù)為:鍺10?30%,砷20?40%,硒30?50%,硅0?10%,碲0?10%;所述靶材的相對(duì)密度≥99.5%,氧含量低于150ppm。所述制造方法首先在真空條件下合成高純度合金,再采用高速噴嘴氣霧化制球形粉末,合金快速凝固成玻璃態(tài),同時(shí)增氧很小,最后采用真空熱壓或者放電等離子體燒結(jié)實(shí)現(xiàn)高致密燒結(jié)成形,燒結(jié)過(guò)程中不存在污染問(wèn)題。采用本發(fā)明制備的硫系多元合金靶材的綜合性能好,組織性能優(yōu)異,密度高,氧含量低。
聲明:
“硫系多元合金靶材及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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