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真空感應熔煉去除硅中磷雜質的方法

1014 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:33:28

真空感應熔煉去除硅中磷雜質的方法，涉及一種硅提純方法。提供一種真空感應熔煉去除硅中磷雜質的方法。將多晶硅放入坩堝中，抽真空，預熱后關閉粗抽閥，開啟擴散泵閥門抽真空，接通中頻感應加熱電源，坩堝開始感應生熱，對坩堝內的硅原料進行低溫預熱，當溫度上升到600℃時，硅自身感應生熱；增加中頻加熱功率為50～200kW，當溫度達到1415℃ 以上時，硅開始熔化；熔化后，調節(jié)中頻加熱功率，使硅液溫度控制在1550～1850℃；待溫度穩(wěn)定后，將真空度控制在1.2×10-2～1.0×10-1Pa；開始計時，保溫時間為45～120min；在水冷銅盤中通入循環(huán)水，然后將熔煉完成的硅液澆注入模具中，快速凝固，即完成。

聲明：

“真空感應熔煉去除硅中磷雜質的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)