本發(fā)明涉及感應(yīng)和電子束熔煉去除
多晶硅中雜質(zhì)磷和硼的方法及裝置,所述方法包括:用電子束熔煉方式去除硅中的雜質(zhì)磷獲得低磷多晶硅的步驟,再用感應(yīng)線圈對(duì)低磷多晶硅進(jìn)行熔煉,通過蒸發(fā)的方式去除多晶硅中的雜質(zhì)硼從而獲得低磷低硼多晶硅的步驟。它應(yīng)用電子束和感應(yīng)加熱的方式去除多晶硅中雜質(zhì)磷和硼,產(chǎn)量大,實(shí)現(xiàn)連續(xù)熔煉,磷硼雜質(zhì)去除效果良好,去除效率高,同時(shí)有效應(yīng)用了感應(yīng)線圈加熱溫度高的特點(diǎn),方法簡(jiǎn)單易行,集成了除磷和除硼的雙重效果,提純效果穩(wěn)定,適合大規(guī)模生產(chǎn)工業(yè)生產(chǎn)。
聲明:
“感應(yīng)和電子束熔煉去除多晶硅中雜質(zhì)磷和硼的方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)