本發(fā)明提供一種耐磨損性優(yōu)異的硬質(zhì)皮膜被覆部件及使用該部件的冶金工具,以及用于形成硬質(zhì)皮膜的靶。所述硬質(zhì)皮膜被覆部件(1),其在基材(2)上具備硬質(zhì)皮膜(3),其特征為,硬質(zhì)皮膜(3)的組成由(TiaCrbAlcSidYeRf)(CyNz)構(gòu)成,且所述R為選自Ho、Sm、Dy、La的一種以上的元素,在所述a、b、c、d、e、f、y、z為原子比時(shí),滿足0.05≤a≤0.3、0.05≤b≤0.3、0.4≤c≤0.65、0≤d≤0.05、0≤e≤0.05、0.005≤f≤0.05、a+b+c+d+e+f=1、0≤y≤0.3、0.7≤z≤1、y+z=1。
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“硬質(zhì)皮膜被覆部件及冶金工具以及靶” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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