本發(fā)明提供一種
太陽能電池減反射膜及其制造方法。該太陽能電池減反射膜包括:第一氮化硅層,覆蓋于所述太陽能
電池片的表面;第二氮化硅層,覆蓋于所述第一氮化硅層的上表面;以及第三氮化硅層,覆蓋于所述第二氮化硅層的上表面。本發(fā)明的三層氮化硅減反射膜可產(chǎn)生良好的鈍化效果,提高冶金
多晶硅電池片的短路電流,降低反向漏電流,提升光電轉(zhuǎn)換效率;同時,本發(fā)明的制造方法通過采用間斷性沉積技術(shù),即在兩層氮化硅薄膜的沉積之間增加一定的停頓時間,使得每層氮化硅薄膜的生長盡可能完整,制得的冶金多晶硅電池外觀顏色更加均勻,可將電池片表面的色差率從原來的30%降至5%左右,大大提高了冶金多晶硅電池的合格率。
聲明:
“用于太陽能電池片的減反射膜及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)