本發(fā)明公開了一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法,其技術方案是:包括鉑粉和鎳粉,所述鉑粉和鎳粉質量份數(shù)為:鉑粉05?65份,鎳粉35?95份。包括以下步驟:S1:將鉑粉和鎳粉混合均勻,并過濾大顆粒雜質,保留大小均等的粉末狀顆粒;S2:將S1中過濾后保留下來的粉末顆粒倒入酒精內浸泡清洗,一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法有益效果是:通過使用
粉末冶金的方式,區(qū)別于傳統(tǒng)的熔煉方法,粉末冶金得到的鎳鉑合金靶材具有更好的致密度,在實際使用測試中,其與基材擁有更好的附著性能,使用更加方便可靠,同時粉末冶金相對于傳統(tǒng)熔煉方法,使得其制備成本大大降低,制備步驟得到極大優(yōu)化,提高了制備效率,簡化了制備流程,從而提高其經濟效益。
聲明:
“鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)