根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的三氯
硅烷的制備方法包括:向反應(yīng)部供給表面改性的金屬硅化物和冶金級(jí)硅的步驟;向所述反應(yīng)部供給四氯硅烷和氫的步驟;以及,將在所述反應(yīng)部?jī)?nèi),在所述金屬硅化物的存在下,由冶金級(jí)硅、四氯化硅烷和氫之間的反應(yīng)生成的生成物,供給到分離部,分離三氯硅烷成分的步驟。利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的三氯硅烷的制備方法進(jìn)行四氯硅烷氫氯化反應(yīng)時(shí),能夠提高三氯硅烷的收率。
聲明:
“金屬硅化物的表面改性方法、利用表面改性的金屬硅化物的三氯硅烷的制備方法及裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)