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局部蒸發(fā)去除多晶硅中硼的方法及裝置

665   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:45:35
本發(fā)明局部蒸發(fā)去除多晶硅中硼的方法及裝置屬于用物理冶金技術(shù)提純多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種利用電子束熔煉技術(shù)將多晶硅中的雜質(zhì)硼去除的方法和裝置。該方法用電子束對(duì)石墨坩堝中的多晶硅進(jìn)行局部熔煉,將液態(tài)硅蒸發(fā)到石墨坩堝上方的沉積板上,收集沉積在沉積板上多晶硅的方法;該裝置由真空蓋、真空?qǐng)A桶構(gòu)成裝置的外殼,真空?qǐng)A桶的內(nèi)腔即為真空室,真空室內(nèi)裝有熔煉系統(tǒng),熔煉系統(tǒng)由電子槍、石墨坩堝、水冷銅托盤(pán)組成。該方法工藝簡(jiǎn)單,能耗低,環(huán)境污染小,提純精度高;技術(shù)穩(wěn)定,有利于大規(guī)模生產(chǎn)。
聲明:
“局部蒸發(fā)去除多晶硅中硼的方法及裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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