熱壓工藝制備硼化物濺射靶材,制備方法流程步驟依次為:將純度≥99.9%、粒度≤5μm的硼化物粉制成直徑為1~3mm的硼化物粒子;填入石墨模具內(nèi),再裝入熱壓爐,升溫加壓,保溫5~10h之后,再降溫制成毛坯,經(jīng)過機加工后制得成品,相對密度為85%~90%,電阻率為1.0~3.5Ω·㎝;硼化物粉在高溫高壓下獲得致密塊,使其具有高相對密度,低電阻率,且均勻性好,穩(wěn)定性高,具有良好的濺射性能,滿足靶材使用需求。該制備方法簡單易行,避免采用傳統(tǒng)
粉末冶金壓制方法需要的復(fù)雜模具設(shè)計,極大地提高了成型效率,所得靶材濺射性能優(yōu)良,雜質(zhì)少,適用于濺射鍍膜。
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