一種用于合成三氯
硅烷的流化床反應器,其包含反應器、旋風分離器、旁通線路、旁通閥以及分離器。反應器具有內(nèi)部空間使冶金級硅與進料氣體在其中進行反應,經(jīng)由氫氯化反應以及直接氯化反應而產(chǎn)生三氯硅烷氣體。旋風分離器用于收集自冶金級硅微?;⒃诜磻鞯膬?nèi)部空間增加的微細顆粒。旁通線路連接至反應器,用于將微細顆粒排出到反應器的外部。旁通閥設置于旁通線路中。分離器連接至旁通閥用于將微細顆粒自反應器排出的排出氣體分離與處理。
聲明:
“用于合成三氯硅烷的流化床反應器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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