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帶有開槽金屬的基板及相關方法

1068   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 14:46:13
提供了帶有開槽金屬的基板及其方法。依照一個方面,附加在基板的開槽金屬可包括加工出槽圖案的金屬,所述槽小于或約等于2微米,其中所述槽使得線寬近似為未形成圖案層中單個冶金顆粒的尺寸。
聲明:
“帶有開槽金屬的基板及相關方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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