本發(fā)明公開(kāi)了采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅的方法。該法是在歧化法基礎(chǔ)上增加四氯化硅氫化作用工序,使副產(chǎn)物充分利用,在氯氫化作用反應(yīng)器中,在氫氣和四氯
硅烷的存在下,氫氣和四氯硅烷的摩爾比為1:1-4冶金級(jí)硅發(fā)生氯氫化反應(yīng)。反應(yīng)后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應(yīng)的硅顆粒,經(jīng)冷凝和精餾進(jìn)行分離。分離后的四氯硅烷和氫氣再循環(huán)使用。通過(guò)催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷,歧化后的氣流送到相應(yīng)的精餾單元進(jìn)行分離和純化。
聲明:
“采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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