本發(fā)明涉及通過(guò)金屬和合金的熱蒸發(fā)進(jìn)行真空 淀積的方法和設(shè)備。所提供的設(shè)備(圖1)包括具有熔融材料(液 態(tài)金屬)(2)的熔化坩堝(1)、位于真空室(5)中的蒸發(fā)設(shè)備(4)的一 個(gè)或幾個(gè)坩堝(3)、熱液態(tài)金屬管道(6)，所述液態(tài)金屬管道(6) 通過(guò)具有靜態(tài)熔化壓強(qiáng)的磁流體動(dòng)力(MHD)回路(7)連接所述 熔化坩堝和所述蒸發(fā)坩堝。所述回路(7)設(shè)有MHD泵(8)，并包 括液態(tài)金屬管道(6)中臨近MHD泵的部分、液態(tài)金屬管道(9、 10)和(11)、加熱儲(chǔ)液器(13)。加熱儲(chǔ)液器(13)通過(guò)液態(tài)金屬管道 (11)連接到液態(tài)金屬管道(6)中MHD泵之前的部分，并通過(guò)液 體金屬管道(10)連接到安裝在管道(9)中的膨脹箱(12)。儲(chǔ)液器 和膨脹箱中熔體上方的空間通過(guò)管道(14)互連并連接到真空泵 系統(tǒng)(未示出)。在膨脹箱中安裝有兩個(gè)熔體高度L的傳感器 (15)。膨脹箱中和蒸發(fā)器中的熔體水體L要比MHD回路儲(chǔ)液 器中的熔體高度L0高Δh。即， MDH泵需要提供壓強(qiáng)Δh。本發(fā)明的技術(shù)方案能夠在長(zhǎng)期工作 過(guò)程中增強(qiáng)金屬與合金蒸發(fā)的穩(wěn)定性，從而提高生產(chǎn)率。本技 術(shù)方案可用于電子、冶金、機(jī)械加工領(lǐng)域內(nèi)的各種功能鍍層。 使用本方法能夠蒸發(fā)鋅、鎂、隔、鋰、鋅鎂合金。