本發(fā)明公開一種基于共格外延強(qiáng)韌化ZrOxNy/V2O3納米多層結(jié)構(gòu)涂層及其制備方法。本發(fā)明的所述ZrOxNy/V2O3納米多層結(jié)構(gòu)涂層是在控制N2/Ar流量比為0~30:30的條件下,由Zr金屬靶材和VO2
粉末冶金靶材在基底上交替進(jìn)行反應(yīng)磁控濺射沉積形成。本發(fā)明獲得的ZrOxNy/V2O3納米多層結(jié)構(gòu)涂層的硬度穩(wěn)定在10.1~11GPa左右,最佳斷裂韌性值為0.879MPa·m1/2,表現(xiàn)出較好的韌性性能??捎迷谇邢鞴ぞ?、機(jī)械摩擦部件的表面防護(hù),從而提高刀具及部件表面性能和使用壽命。其制備方法具有工藝簡(jiǎn)單、沉積速度快、成本低、結(jié)合強(qiáng)度高等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“基于共格外延強(qiáng)韌化氮氧鋯/三氧化二釩納米多層結(jié)構(gòu)涂層及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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