本申請(qǐng)涉及
粉末冶金材料的技術(shù)領(lǐng)域,具體公開(kāi)了一種多元合金靶材及其制備方法。一種多元合金靶材,由以下原子百分比的元素組成,鎳20?35%、釩20?25%、鉬20?25%、鎢20?35%。其制備方法:首先將鉬粉與鎳粉混料制備成MoNi合金粉末,再將MoNi合金粉末與其他粉末進(jìn)行混料,最后進(jìn)行HIP燒結(jié)和機(jī)加工。本申請(qǐng)制備的靶材具有致密度高,可達(dá)99%以上、合金化程度高,無(wú)氣孔和偏析,組織均勻等優(yōu)點(diǎn)。另外,本申請(qǐng)的制備方法能夠使熔點(diǎn)不同的元素進(jìn)行HIP燒結(jié),并且能保證熔點(diǎn)不同的元素在靶材中所占比例達(dá)到要求。
聲明:
“多元合金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)