本發(fā)明公開了一種鉬鈮合金靶材板的制備方法,將鉬粉放入氣流磨中,通入氬氣,調(diào)節(jié)氣體壓力得到三種粒度分布的鉬粉;將鈮粉放入氣流磨中,通入氬氣,調(diào)節(jié)氣體壓力得到三種粒度分布的鈮粉;分別將鉬粉與鈮粉混合得到三種粒度分布的鉬鈮合金粉;將鉬鈮合金粉末壓制成坯料,置于中頻爐中氫氣燒結(jié),即得到鉬鈮合金靶材板。本發(fā)明鉬鈮合金靶材板的制備方法,操作簡單、成本低,通過
粉末冶金方法即可直接燒制出高質(zhì)量的鉬鈮合金靶材板,本發(fā)明三種不同粒度分布的鉬鈮合金粉經(jīng)過冷等靜壓壓制出板坯,中頻氫氣燒制出密度大于9.8g/cm3、O含量低于1000ppm的高品質(zhì)鉬鈮合金靶材板。
聲明:
“鉬鈮合金靶材板的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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