本發(fā)明公開了一種高致密度高含量鉬鈮合金靶材的制備工藝,所述制備工藝的原材料由按質(zhì)量百分比計(jì)量的以下組分組成:鈮粉5%?15%,余量為鉬粉;稱取所述鈮粉的一部分,通過鈮的氫化工藝制取得到二次氫化鈮;所述二次氫化鈮與所述原材料的質(zhì)量比為0.1:100?3:100,所述二次氫化鈮呈粉末狀,顆粒粒徑D90≤50μm。本發(fā)明利用二次氫化鈮的活化作用,并通過控制制取二次氫化鈮的工藝參數(shù),采用
粉末冶金工藝直接制備高致密度高含量鉬鈮合金濺射靶材。
聲明:
“高致密度高含量鉬鈮合金靶材的制備工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)