本發(fā)明公開(kāi)了一種高溫低摩擦硬質(zhì)納米多層VAlCN/VN?Ag涂層、其制備方法及應(yīng)用。所述涂層主要由多個(gè)VAlCN屏障層與多個(gè)VN?Ag復(fù)合層交替疊加形成。所述涂層的制備方法包括：采用多弧離子鍍技術(shù)在經(jīng)過(guò)活化處理后的基體表面交替沉積VAlCN屏障層和VN?Ag復(fù)合層，其中VN?Ag復(fù)合層能夠保證涂層的中高溫低摩擦性能，VAlCN屏障層在保證涂層高硬度的同時(shí)，還能作為擴(kuò)散阻擋層抑制VN?Ag層內(nèi)Ag的快速流失及氧化。本發(fā)明涂層在25℃到600℃范圍內(nèi)具有優(yōu)異的摩擦學(xué)性能，其中VAlCN屏障層和納米多層結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)保證涂層在經(jīng)歷多層高溫摩擦后仍具有低的摩擦性能。本發(fā)明涂層可用于航空、航天、能源、汽車、冶金、化工、材料加工等領(lǐng)域的高溫運(yùn)轉(zhuǎn)部件，起到高溫表面減摩防護(hù)作用。