本發(fā)明提供的柔性光電探測(cè)器件的制備方法,通過(guò)飛秒激光對(duì)柔性透明基底的下表面進(jìn)行微納結(jié)構(gòu)化加工,實(shí)現(xiàn)對(duì)其上表面的近場(chǎng)光學(xué)相干增強(qiáng)效應(yīng);然后在此上表面沉積
鈣鈦礦薄膜,再在沉積有鈣鈦礦薄膜的表面蒸鍍電極獲取柔性光電探測(cè)器件,本發(fā)明提供的柔性光電探測(cè)器件的制備方法,在未經(jīng)飛秒激光加工的光滑表面上沉積制備鈣鈦礦薄膜,使光散射界面與鈣鈦礦薄膜材料界面分離,這樣既能使得基底材料實(shí)現(xiàn)近場(chǎng)光學(xué)增強(qiáng)、提高光活性層的光吸收和量子效率,又能保證光活性層的致密性和完整性,減少材料缺陷對(duì)器件性能的不利影響,工藝簡(jiǎn)單。
聲明:
“柔性光電探測(cè)器件的制備方法及柔性光電探測(cè)器件” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)