本發(fā)明公開了一種高溫聲表面波傳感器的叉指電極材料及其制備方法。所述叉指電極材料包括襯底和依次沉積在所述襯底上的Ta緩沖層和Ir?Mo合金薄膜;所述Ir?Mo合金薄膜中,Mo的原子數(shù)百分含量為5~10%。本發(fā)明制備得到的叉指電極材料的電導(dǎo)率達(dá)9.2×106S/m,可適用于聲表面波器件中。所述聲表面波器件可為高溫聲表面波器件,器件中心頻率1.42GHz,在1000℃環(huán)境下退火72小時后,器件性能穩(wěn)定。本發(fā)明叉指電極材料的制備工藝簡單,方法先進(jìn)、科學(xué),能使高溫聲表面波傳感器在更高溫度下使用并且有效增加其溫度耐受性,使聲表面波溫度傳感器可以應(yīng)用于一些航天航空、機(jī)械冶金高溫環(huán)境下,其器件具有耐溫度高、工作壽命長的特點。
聲明:
“高溫聲表面波傳感器的叉指電極材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)