本實用新型屬于冶金提純技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種旋轉(zhuǎn)和吹氣誘導(dǎo)反向凝固提純
多晶硅的設(shè)備。該設(shè)備由水冷盤活動安裝于真空腔室底部,石墨板置于水冷盤頂端,石墨板上開有孔,石墨支柱一端通過孔與石墨板嵌套連接,另一端與石墨托盤嵌套連接,坩堝置于石墨托盤上,石墨發(fā)熱體套于坩堝外圍,碳氈保溫桶套于石墨發(fā)熱體外,碳氈保溫蓋上開有孔,置于碳氈保溫桶頂端,感應(yīng)線圈套于碳氈保溫桶外,吹氣管路活動安裝于真空腔室頂端,吹氣管路的吹氣口位于坩堝正上方中心位置。本實用新型的設(shè)備是在原有定向凝固設(shè)備的基礎(chǔ)之上增加坩堝旋轉(zhuǎn)和吹氣的功能,設(shè)備改造安裝方便,操作簡單,能有效去除鑄錠尾部富集的雜質(zhì),節(jié)約了生產(chǎn)周期和成本,適用于工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)。?
聲明:
“旋轉(zhuǎn)和吹氣誘導(dǎo)反向凝固提純多晶硅的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)