本發(fā)明通過將至少兩種不同類型的粉末混合在一起并用
粉末冶金法固結(jié)粉末以形成坯料,從而形成用于沉積器械的靶。然后由坯料形成靶。靶包括具有第一PTF的第一材料相和具有高于第一PTF的第二PTF的第二材料相。第二PTF也高于具有和靶相同的化學(xué)組成的材料的PTF。
聲明:
“高PTF濺鍍靶和制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)