本發(fā)明涉及冶金及壓力加工領(lǐng)域,公開了一種調(diào)質(zhì)均質(zhì)靶板的制造方法,該方法包括將鋼錠依次進(jìn)行壓機(jī)鍛制、退火處理、機(jī)械加工處理和調(diào)質(zhì)處理,退火處理采用包括如下過(guò)程的步驟進(jìn)行:將壓機(jī)鍛制后得到的靶板以升溫至第一溫度,并在該第一溫度下保持2~4h;將靶板升溫至第二溫度,并在該第二溫度下保持4~6h;將靶板降至第三溫度,并在該第三溫度下保持5~7h;將靶板升溫至第四溫度,并在該第四溫度下保持25~35h;將靶板降溫至350~450℃,然后降溫至200℃以下。由本發(fā)明的上述方法制造得到的調(diào)質(zhì)均質(zhì)靶板的平面組織均勻、硬度均勻且性能的各向異性小。
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“調(diào)質(zhì)均質(zhì)靶板的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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